[发明专利]一种用于太阳能电池片生产的石英炉门及其工艺无效
申请号: | 201210117201.0 | 申请日: | 2012-04-20 |
公开(公告)号: | CN102628189A | 公开(公告)日: | 2012-08-08 |
发明(设计)人: | 沈雪明 | 申请(专利权)人: | 吴江市奥鸣石英玻璃仪器厂 |
主分类号: | C30B31/10 | 分类号: | C30B31/10;H01L31/18 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 太阳能电池 生产 石英 炉门 及其 工艺 | ||
技术领域
本发明涉及工业生产设备领域,具体是涉及一种用于太阳能电池片生产的石英炉门及其工艺。
背景技术
在太阳能电池片生产中,太阳能电池片的PN结特性一般是通过以下过程完成:首先在P型衬底硅片上掺杂一些微量元素如磷、硼等,然后通过高温扩散方式形成一层N型薄层。在现有技术中,此过程在生产太阳能电池片的扩散炉中完成,其炉内需要达到900℃的温度甚至更高,这就要求扩散炉的内部构件(包括其炉门)耐高温性能好、不宜炸裂变形、使用寿命长。而在现有扩散炉炉门的生产过程中,对炉门进行热处理等工艺容易使其产生内应力,使炉门的强度不能维持原有的形状而造成短时间内炸裂或者报废。
因此,针对上述情况而设计出一种用于太阳能电池片生产的石英炉门,其工艺过程经改进可有效消除炉门加工过程中产生的内应力,正是发明人面临的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于太阳能电池片生产的石英炉门及其工艺,可有效消除炉门加工过程中的内应力,减低产品报废率,保证其在生产加 工及应用中的质量问题。
本发明所采用的技术方案是:一种用于太阳能电池片生产的石英炉门,包括位于上底盖表面的空心管,上底盖,与所述上底盖之间形成容置空间的下底盖,填充于容置空间内的石棉板以及上、下底盖对接所形成的焊缝加料处。
进一步,所述上、下底盖表面为直径相同的圆形,上、下底盖通过焊缝加料处连接。
进一步,所述空心管为两个,并排位于上底盖表面的中心位置。
本发明一种用于太阳能电池片生产的石英炉门所采用的工艺包括:
(1)上、下底盖成型:采用石英原片进行补铣成圆,然后通过立式数控加工中心进行挖槽工艺,之后分别对经补铣、挖槽成型的上、下底盖进行半成品抛光,去除其表面瑕疵或氧化杂质。
(2)将两只空心管经烧结工艺固定于上底盖表面中心位置。
(3)将下底盖置于操作台上,并把石棉板放入下底盖的挖槽内,放上上底盖,石棉板恰好置于上、下底盖之间形成的容置空间内,然后对上、下底盖进行烧结处理。
(4)整个炉门烧结及退火:以一根石英丝为填加料,在一只高温枪作用下于上、下底盖对接形成的焊缝进行移料烧熔,另一只高温枪辅助烧结,待烧结完成后立即进行退火处理。
本发明的有益效果是:通过两只高温枪对整个炉门进行加料烧结工艺以及后续的退火处理,有效消除炉门加工过程中产生的内应力,保证炉门在加工及使用过程中不至于短时间内炸裂或者报废,提高炉门生产的成品率。
附图说明
图1是本发明一种用于太阳能电池片生产的石英炉门结构示意图。
图2是本发明一种用于太阳能电池片生产的石英炉门左视剖视图。
附图标记说明:1-空心管;2-上底盖;3-焊缝加料处;4-下底盖;5-容置空间;6-石棉板。
具体实施方式
下面结合具体实施例,进一步阐述本发明。应理解,这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。此外应理解,在阅读了本发明讲授的内容之后,本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改,这些等价形式同样落在申请所附权利要求书所限定的范围。
如图1和2所示,一种用于太阳能电池片生产的石英炉门,包括位于上底盖表面的空心管1,上底盖2,与上底盖2之间形成容置空间5的下底盖4,填充于容置空间5内的石棉板6以及上底盖2、下底盖4对接所形成的焊缝加料处3。
在上述具体实施例中,上底盖2、下底盖4表面为直径相同的圆形,上底盖2、下底盖4通过焊缝加料处3连接;空心管1为两个,并排位于上底盖2表面的中心位置。
本发明一种用于太阳能电池片生产的石英炉门所采用的工艺包括:
(1)上、下底盖成型:采用直径为335mm的石英原片进行补铣成圆,然后通过立式数控加工中心进行挖槽工艺,之后分别对经补铣、挖槽成型的上、下底盖进行半成品抛光,去除其表面瑕疵或氧化杂质。
(2)将两只内径、外径分别为12mm、20mm的空心管1经烧结工艺固定于上底盖2表面中心位置。
(3)将下底盖4置于操作台上,并把石棉板6放入下底盖4的挖槽内, 放上上底盖2,石棉板恰好置于上、下底盖之间形成的容置空间5内,然后对上、下底盖进行烧结处理。
(4)整个炉门烧结及退火:以一根石英丝为填加料,在一只高温枪作用下于上、下底盖对接形成的焊缝进行移料烧熔,另一只高温枪辅助烧结,待烧结完成后立即进行退火处理。
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