[发明专利]温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置及方法有效
申请号: | 201210117359.8 | 申请日: | 2012-04-19 |
公开(公告)号: | CN102633442A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 朱美娜;赵建君;施翔尹 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C03C17/32 | 分类号: | C03C17/32 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 温控 支撑 进行 干燥 装置 方法 | ||
1.一种温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置,其特征在于,包括用于从基板下方预干燥基板的加热器、用于向上支撑基板的若干温控针以及温控系统,所述温控针连接至所述温控系统,每个所述温控针可由所述温控系统单独控制温度,以使基板上温控针的支撑位置与支撑位置的周围受热均匀。
2.如权利要求1所述的温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置,其特征在于,所述加热器具有与基板表面平行的用于加热基板的平面辐射表面,所述温控针上下穿过所述平面辐射表面。
3.如权利要求1所述的温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置,其特征在于,所述基板为玻璃基板。
4.如权利要求1所述的温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置,其特征在于,所述温控针以移动针支撑方式支撑基板。
5.如权利要求1所述的温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置,其特征在于,所述温控针以顶针支撑方式支撑基板。
6.如权利要求1所述的温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置,其特征在于,所述加热器为红外线辐射加热器。
7.如权利要求1所述的温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置,其特征在于,所述加热器为热气流加热器。
8.如权利要求1所述的温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置,其特征在于,所述温控针至少包括温度可控制的用于向上支撑基板的末端。
9.一种温控针支撑基板进行配向膜预干燥的方法,其特征在于,包括:
步骤一、采用若干温控针向上支撑基板;
步骤二、采用加热器从基板下方预干燥基板;
步骤三、采用温控系统单独控制每个所述温控针的温度,以使基板上温控针的支撑位置与支撑位置的周围受热均匀。
10.如权利要求9所述的温控针支撑基板进行配向膜预干燥的方法,其特征在于,所述加热器具有与基板表面平行的用于加热基板的平面辐射表面,所述温控针上下穿过所述平面辐射表面。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司,未经深圳市华星光电技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210117359.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种数字电视天线
- 下一篇:聚合物电池角位热压装置