[发明专利]闸阀

说明书

技术领域

本发明涉及一种闸阀，该闸阀与半导体制造装置等的处理室连接，对与该处理室连通的流体流路、物品移送路等连通路进行开闭。

背景技术

在专利文献1及2中公开了了一种闸阀，该闸阀与半导体制造装置等的处理室连接，由阀箱内部的阀板对与该处理室连通的连通路进行开闭。在这样的闸阀中，因为上述阀板的密封构件容易由流过上述连通路的生产气体等腐蚀性流体损伤，所以需要适当地将该密封构件更换为新的密封构件。

为了使得此密封构件的更换容易进行，在记载于上述专利文献1及2的闸阀中，为了使阀箱的上端，即与用于使阀箱中的上述阀板进行开闭动作的阀杆被导入的一侧相反侧的面开口，以便能够取出上述阀板，使该开口由板状的盖体自如地开闭，而且通过开放此盖体，能够从该开口侧将阀杆的前端的阀板拆下，能够容易地从阀箱取出该阀板。

然而，阀板相对于上述阀杆的装拆结构，因为被限制在能够从阀箱的上端的开口容易地进行装拆操作的范围内，所以难以将阀板稳定地安装在阀杆的前端，或者存在以下所述的那样的各种问题。

例如，在专利文献1的闸阀中，使安装在阀杆上的板簧构件的凸部与阀板的开口部卡合，由其弹性力使阀板与阀杆卡合(上述专利文献1的图4及图5)，或在安装在阀板的孔部中的阀杆的前端的安装部设置倾斜面，由螺钉构件将与该倾斜面和阀板的内侧面卡合的楔构件紧固地固定在上述阀杆的前端(上述专利文献1的图8及图9)。

在上述文献的图4及图5的结构中，阀板的装拆简便，相反，由于由板簧构件的弹性力进行固定，所以在将阀板的密封构件(O形密封圈)固定在阀座上的情况下，还存在板簧构件变形，产生尘埃，阀板从阀杆脱离的可能性，另外在上述文献的图8及图9的结构中，由于是仅在阀杆的前端的固定，所以还存在倾斜地安装阀板的可能性，未必能够相对于阀箱的连通路使阀板正确地面对而稳定地固定。

另外，在上述专利文献2的闸阀中，以如下的方式构成，即，在插入到阀板的插孔中的阀杆的前端的连接部设置向心轴承部和旋转角限制部，在上述向心轴承部中使阀板能够相对于阀杆旋转，当阀板被推压到阀座上时，该阀板模仿阀座，在旋转角限制部中将在向心轴承部中可进行的旋转限制在规定的角度范围内，但此结构也不能相对于阀箱的连通路使阀板正确地面对而稳定地固定。

专利文献1：日本特开2002-195424号公报

专利文献2：日本特开2005-291221号公报

发明内容

发明所要解决的课题

上述阀板，本来希望相对于阀杆按照适当的姿势牢固地固定，但不希望是高精度的加工、采用高强度的固定组件，虽然是在能够容易地从阀箱的上端的开口进行装拆操作的范围中以尽可能适当的姿势牢固地进行固定的组件，并且是也能够避免产生尘埃等问题的结构，但要求采用简单、呈稳定的姿势地安装的装拆结构。

本发明的技术课题在于提供一种闸阀，其是由阀板对与处理室连通的阀箱的连通路进行开闭的闸阀，是满足上述要求的结构，更具体地说，在于提供一种如下的闸阀，其由利用了楔效果等的简单的安装结构牢固地固定阀杆的阀板安装部中的基端侧及前端侧，而且通过使相互面对的阀板与阀杆的接合平面相互强有力地紧密接触，使阀板的姿势稳定化。

为了解决课题的手段

为了解决上述课题，按照本发明，提供一种闸阀，其特征在于：具有阀箱、阀板、阀杆、连结板、开口和盖体；该阀箱具备与处理室连通的连通孔；该阀板安装在上述阀杆的前端的阀板安装部，收容在上述阀箱内，使密封构件与上述连通孔的周围接触分离而对该连通孔进行开闭；该阀杆使该阀板向将上述连通孔开放及封闭的位置位移；该连结板连结上述阀板与阀杆；该开口用于上述阀板的取出，形成在上述阀箱上；该盖体覆盖该开口，能够自如地装拆；

上述阀板具有将上述阀杆的阀板安装部插入的安装孔，在该安装孔的孔面和上述阀板安装部的外面上分别形成当由上述连结板连结了上述阀板与上述阀杆时相互地压接的接合平面；

上述阀杆在上述阀板安装部的基端侧的位置具有上述阀板的基端侧端部嵌合的凹状的接合台阶部，在该接合台阶部形成上述阀板的基端侧端部抵接的倾斜面，该倾斜面由楔效果使上述阀板在该阀板及上述阀杆的上述接合平面彼此相互地压接的方向位移；

上述连结板在朝上述阀板安装部的基端侧推压上述阀板的状态下将该阀板与上述阀杆相互地连结。