[发明专利]一种金钯合金电镀液及其制备方法和电镀工艺

权利要求书

1.一种金钯合金电镀液，其特征在于，包括以下组分：金盐、钯盐、螯合剂和导电盐，所述金钯合金电镀液中，以单质金含量计，所述金盐的含量为0.1～20g/L，以单质钯含量计，所述钯盐的含量为0.1～15g/L，所述螯合剂的含量为30～300g/L，所述导电盐的含量为10～30g/L，以金属单质含量计算，所述金盐与所述钯盐的质量比为0.5～20∶1。

2.如权利要求1所述的金钯合金电镀液，其特征在于，所述金盐为水溶性的一价金或三价金，选自氯化金钾、氯化金钠、氯化金氨、氰化金钾、氰化金钠、氰化金氨、氢氧化金和氧化金中的一种或几种；所述钯盐选自硫酸四氨钯、硫酸二氨钯、氯化四氨钯、氯化二氨钯、四氯化氨钯、硫酸一乙烯二胺钯、硫酸二乙烯三胺钯、硫酸三乙烯四胺钯、硫酸四乙烯五胺钯、氯化一乙烯二胺钯、氯化二乙烯三胺钯、氯化三乙烯四胺钯和氯化四乙烯五胺钯中的一种或几种。

3.如权利要求1所述的金钯合金电镀液，其特征在于，所述螯合剂选自氰离子化合物、氯离子化合物、亚硫酸根化合物、氨水、二乙醇胺、三乙醇胺、三乙胺、一乙烯二胺、二乙烯三胺、乙二胺四乙酸和氨基三乙酸中的一种或几种；所述导电盐选自二元羧酸盐、一元羧酸盐、磷酸盐、磷酸氢盐、磷酸二氢盐、碳酸盐和碳酸氢盐中的一种或几种。

4.如权利要求1所述的金钯合金电镀液，其特征在于，所述金钯合金电镀液的组分还包括助剂，所述助剂的含量为2.5～40g/L。

5.一种金钯合金电镀液的制备方法，其特征在于，配制金浓缩液和钯浓缩液，将所述金浓缩液与所述钯浓缩液按金属单质含量质量之比为0.5～20∶1的比例混合，再加入螯合剂和导电盐，定容混匀，在所述金钯合金电镀液中，以单质金含量计，所述金浓缩液的含量为0.1～20g/L，以单质钯含量计，所述钯浓缩液的含量为0.1～15g/L，所述螯合剂的含量为30～300g/L，所述导电盐的含量为10～30g/L。

6.如权利要求5所述的金钯合金电镀液的制备方法，其特征在于，所述金浓缩液由含一价金或三价金的水溶性金盐配制所得，所述金盐选自氯化金钾、氯化金钠、氯化金氨、氰化金钾、氰化金钠、氰化金氨、氢氧化金和氧化金中的一种或几种；所述钯浓缩液由钯盐配制所得，所述钯盐选自硫酸四氨钯、硫酸二氨钯、氯化四氨钯、氯化二氨钯、四氯化氨钯、硫酸一乙烯二胺钯、硫酸二乙烯三胺钯、硫酸三乙烯四胺钯、硫酸四乙烯五胺钯、氯化一乙烯二胺钯、氯化二乙烯三胺钯、氯化三乙烯四胺钯和氯化四乙烯五胺钯中的一种或几种；所述螯合剂选自氰离子化合物、氯离子化合物、亚硫酸根化合物、氨水、二乙醇胺、三乙醇胺、三乙胺、一乙烯二胺、二乙烯三胺、乙二胺四乙酸和氨基三乙酸中的一种或几种；所述导电盐选自二元羧酸盐、一元羧酸盐、磷酸盐、磷酸氢盐、磷酸二氢盐、碳酸盐和碳酸氢盐中的一种或几种。

7.如权利要求5所述的金钯合金电镀液的制备方法，其特征在于，所述金钯合金电镀液中加入助剂，在所述金钯合金电镀液中，所述助剂的含量为2.5～40g/L。

8.一种金钯合金电镀液的电镀工艺，其特征在于，包括以下步骤：

(1)制备金钯合金电镀液：配制金浓缩液和钯浓缩液，将所述金浓缩液与所述钯浓缩液按金属单质含量质量之比为0.5～20∶1的比例混合，再加入螯合剂和导电盐，定容混匀，在所述金钯合金电镀液中，以单质金含量计，所述金浓缩液的含量为0.1～20g/L，以单质钯含量计，所述钯浓缩液的含量为0.1～15g/L，所述螯合剂的含量为30～300g/L，所述导电盐的含量为10～30g/L；

(2)将镀件的表面清洗干净；

(3)在经(2)处理后的镀件上预镀一层或多层金属；

(4)将金钯合金电镀在经(3)处理后的镀件上，得到金钯合金电镀层。