[发明专利]用于沟道填充的新型沟道隔离槽

权利要求书

1.一种用于沟道填充的新型沟道隔离槽，其特征在于：内壁面上任意一点到外壁面距离均不大于d，d为沟道隔离槽宽度。

2.一种如权利要求1所述的用于沟道填充的新型沟道隔离槽，其特征在于，所述的沟道隔离槽具体形式为：沟道隔离槽的内壁面为直角拐角，外壁面拐角为倒圆角，倒圆角为以内壁面直角拐角点为圆心、半径小于或等于且与外壁面相切。

3.一种如权利要求1所述的用于沟道填充的新型沟道隔离槽，其特征在于，所述的沟道隔离槽具体形式为：沟道隔离槽的内壁面为直角拐角，外壁面拐角为半边倒角，即外壁面拐角处为与外壁面两条边均呈45°的斜线；所述斜线与内壁面直角拐角点的垂直距离为d。

4.一种如权利要求1所述的用于沟道填充的新型沟道隔离槽，其特征在于，所述的沟道隔离槽具体形式为：沟道隔离槽的内壁面和外壁面拐角均为半边倒角，两倒角线的垂直距离为d的平行线，倒角线与外壁面两条边均呈45°夹角。

5.一种如权利要求1所述的用于沟道填充的新型沟道隔离槽，其特征在于，所述的沟道隔离槽具体形式为：沟道隔离槽的内壁面和外壁面拐角均为圆弧线的倒圆角，垂直切线距离等于或小于d，且与内外壁面都相切。

6.一种如权利要求1所述的用于沟道填充的新型沟道隔离槽，其特征在于，所述的沟道隔离槽具体形式为：沟道隔离槽的内壁面和外壁面均为直角拐角，内壁面拐角处有长度g的生长阻隔柱，生长阻隔柱方向为沿内壁面任意一条边的延长方向，(2-1)·d2≤g≤d.]]>