[发明专利]气浮管接头组件及应用其的六自由度气浮管接头和掩模台

权利要求书

1.一种气浮管接头组件，其特征在于，包括：

气浮轴杆，其上贯穿开设有第一导气通道，气浮轴杆的侧壁上设置有连接所述第一导气通道的气浮道孔；

气浮轴套，其上对应设置有连接所述第一导气通道的第二导气通道，所述气浮轴套可相对运动地套设于所述气浮轴杆外；

外部真空或正压气体进入所述第一导气通道后，一部分进入第二导气通道，一部分经气浮轴杆上的气浮道孔输出，在气浮轴杆和气浮轴套之间形成气膜。

2.根据权利要求1所述的气浮管接头组件，其特征在于，所述第二导气通道垂直设置于气浮轴套侧壁外，所述第二导气通道的一端是设置于气浮轴套侧壁上的开孔，第二导气通道的另一端设置有一管道接口或出气块或进气块，所述管道接口连接另一气浮轴杆的第一导气通道的进气端，所述出气块连接外部用气机构，所述进气块连接外部真空或正压气体。

3.根据权利要求1所述的气浮管接头组件，其特征在于，所述气浮轴套与气浮轴杆之间的相对运动包括沿轴向直线运动和绕轴向旋转运动。

4.根据权利要求1所述的气浮管接头组件，其特征在于，所述气浮轴杆的一端面上设置有连接第一导气通道一端的进气孔或进气块或出气块，所述进气孔连接另一气浮轴套的第二导气通道的出气端，所述进气块连接外部真空或正压气体，所述出气块连接外部用气机构。

5.根据权利要求4所述的气浮管接头组件，其特征在于，所述气浮轴杆的侧壁上设置有连接第一导气通道另一端的转接气孔。

6.根据权利要求5所述的气浮管接头组件，其特征在于，所述转接气孔包括供气孔和设置于供气孔外缘的供气槽，所述供气槽沿气浮轴杆的直线运动和旋转运动方向设置，所述真空或正压气体通过所述供气孔进入供气槽，并进入后续气路管道。

7.根据权利要求5或6所述的气浮管接头组件，其特征在于，所述转接气孔设置于气浮轴杆侧壁中部呈环形的转接面上，气浮轴杆侧壁上所述转接面的两侧为轴杆气浮面，所述转接面的高度略高于所述轴杆气浮面，所述轴杆气浮面上均匀开设有气浮道孔。

8.根据权利要求1所述的气浮管接头组件，其特征在于，所述气浮轴杆的侧壁上设置有泄气槽，所述气浮轴套侧壁上对应设置有泄气孔，所述泄气槽经泄气孔将气浮轴杆和气浮轴套之间的部分气体排出，形成气浮压力稳定的气浮气膜。

9.根据权利要求1所述的气浮管接头组件，其特征在于，所述气浮轴杆侧壁的气浮道孔是连通第一导气通道的节流孔或多孔介质层。

10.根据权利要求1所述的气浮管接头组件，其特征在于，所述第一导气通道和第二导气通道分别对应设置有多条气道。

11.一种六自由度气浮管接头，其特征在于，包括：

进气块、出气块以及三组如权利要求1-10中任意一项所述的气浮管接头组件，所述三组气浮管接头组件包括沿Z向设置的Z向气浮轴杆、Z向气浮轴套，沿X向设置的X向气浮轴杆、X向气浮轴套，以及沿Y向设置的Y向气浮轴杆、Y向气浮轴套，其中，

所述Z向气浮轴杆与所述进气块固定连接，提供Z向进气管路，并和Z向气浮轴套组成Z/Rz两方向的导向结构；

所述X向气浮轴杆与所述Z向气浮轴套固定连接，提供X向进气管路，并和所述X向气浮轴套组成X/Rx两方向的导向结构；

所述Y向气浮轴杆与所述X向气浮轴套固定连接，提供Y向进气管路，并和所述Y向气浮轴套组成Y/Ry两方向的导向结构，所述Y向气浮轴套与所述出气块固定连接，输出气体。

12.根据权利要求11所述的六自由度气浮管接头，其特征在于，所述进气块固定在一运动台中的粗动台上或者线缆台上，通过一管接头将真空或正压气体接入气浮管接头组件，所述出气块连接运动台中的微动台气浮轴承，为微动台气浮轴承供气。