[发明专利]用于处理四氯化硅氢化副产物的设备

权利要求书

1.一种用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，包括：

气固分离装置，所述气固分离装置用于对四氯化硅氢化副产物进行气固分离以得到含有三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、氢气的第一气体混合物和固体颗粒；以及

热交换装置，所述热交换装置与所述气固分离装置相连，从所述气固分离装置接收所述第一气体混合物，并且将所述第一气体混合物与第二气体混合物进行热交换，以便使得所述第二气体混合物的温度被提高，其中，所述第二气体混合物为四氯化硅和氢气的混合物。

2.根据权利要求1所述的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，进一步包括：

氢化反应装置，所述氢化反应装置用于对四氯化硅进行氢化处理；以及

固体颗粒返回管路，所述固体颗粒返回管路所述气固分离装置相连，用于将所述固体颗粒返回至氢化反应装置。

3.根据权利要求1所述的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，所述气固分离装置为旋风分离器。

4.根据权利要求1所述的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，进一步包括陶瓷过滤器，所述陶瓷过滤器分别与所述气固分离装置和热交换装置相连，以便在第一气体混合物进入所述热交换装置之前，对所述第一气体混合物进行过滤除尘处理。

5.根据权利要求4所述的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，所述陶瓷过滤器的孔径为600-1500目。

6.根据权利要求1所述的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，在所述第二气体混合物中四氯化硅和氢气的摩尔比例为1∶1～1∶10。

7.根据权利要求1所述的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，进一步包括冷凝装置，所述冷凝装置与所述热交换装置相连，用于从所述热交换装置接收经过冷却的第一气体混合物，并对所述第一气体混合物进行冷凝处理，使得所述第一气体混合物中的三氯氢硅、四氯化硅和二氯二氢硅与氢气分离，氢气循环利用。

8.根据权利要求1所述的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，进一步包括加热装置，所述加热装置与所述氢化反应装置相连，用于将氢气和四氯化硅的混合气体进行加热后，将所述混合气体供给到所述氢化反应装置。

9.根据权利要求8所述的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，进一步包括：

第二气体混合物输送管道，所述第二气体混合物输送管道分别与所述热交换装置和所述加热装置相连，用于将经过热交换的所述含有四氯化硅和氢气的混合气体输入至所述氢化反应装置中。