[发明专利]处理四氯化硅氢化副产物的方法有效
| 申请号： | 201210119526.2 | 申请日： | 2012-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN102659115A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 张升学;严大洲;肖荣晖;毋克力;汤传斌;杨永亮;万烨 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理 氯化 氢化 副产物 方法 | ||
1.一种处理四氯化硅氢化副产物的方法，其特征在于，包括以下步骤：
将四氯化硅氢化副产物供给到气固分离装置，以便进行气固分离以得到含有三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、氢气的第一气体混合物和固体颗粒；以及
将所述第一气体混合物与第二气体混合物在热交换装置中进行热交换，其中，所述第二气体混合物为四氯化硅和氢气的混合物。
2.根据权利要求1所述的处理四氯化硅氢化副产物的方法，其特征在于，进一步包括将所述固体颗粒输送至氢化反应装置，用于进行四氯化硅的氢化反应。
3.根据权利要求1所述的处理四氯化硅氢化副产物的方法，其特征在于，所述气固分离装置为旋风分离器。
4.根据权利要求1所述的处理四氯化硅氢化副产物的方法，其特征在于，在将所述第一气体混合物进行热交换之前，进一步包括利用陶瓷过滤器对所述第一气体混合物进行过滤除尘处理。
5.根据权利要求4所述的用于处理四氯化硅氢化副产物的方法，其特征在于，所述陶瓷过滤器的孔径为600-1500目。
6.根据权利要求1所述的处理四氯化硅氢化副产物的方法，其特征在于，在所述第二气体混合物中四氯化硅和氢气的摩尔比例为1∶1-1∶10。
7.根据权利要求1所述的处理四氯化硅氢化副产物的方法，其特征在于，进一步包括将经过热交换的第一气体混合物进行冷凝处理，使得所述第一气体混合物中的三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅与氢气分离。
8.根据权利要求1所述的处理四氯化硅氢化副产物的方法，其特征在于，进一步包括将经过加热的第二气体混合物输送至氢化反应装置中进行氢化反应。
9.根据权利要求8所述的处理四氯化硅氢化副产物的方法，其特征在于，在将所述第二气体混合物输送至所述氢化反应装置之前，进一步包括将所述第二气体混合物进行加热。
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