[发明专利]一种用于曝光装置的掩模台

权利要求书

1.一种用于曝光装置的掩模台，其特征在于，包括：

机械预对准台，包括承版台、X向预对准机构和Y向预对准机构；所述承版台用于承载尺寸不同的至少两种掩模版；所述X向预对准机构包括设置在承版台X向相对两侧边缘的至少一对X向定位组件，所述每对X向定位组件中至少有一个是能够沿X向移动的，并且通过所述各对X向定位组件卡紧掩模版的X向相对两侧边，使掩模版的X向中心与承版台的X向中心对准，实现掩模版的X向预对准；所述Y向预对准机构包括设置在承版台Y向相对两侧边缘的至少两对Y向定位组件，每一对Y向定位组件对应一种尺寸的掩模版，所述每对Y向定位组件中至少有一个是能够沿Y向移动的，并且通过所述一对Y向定位组件卡紧掩模版的Y向相对两侧边，使掩模版的Y向中心与承版台的Y向中心对准，实现掩模版的Y向预对准；

驱动机构，包括设置于同一平面内的Y向粗动电机、X向微动电机，所述Y向粗动电机驱动所述机械预对准台沿Y向进行扫描移动，所述X向微动电机驱动机械预对准台沿X向移动，以实现X/Rz向的微调；

其中，X、Y向分别是水平面内相互垂直的两个方向，Rz向表示在XY平面内的旋转方向。

2.如权利要求1所述的掩模台，其特征在于，所述一对X向定位组件包括分别设置在承版台X向相对两侧边缘的X向定位销和X向定位杆；所述X向定位销的设置位置使得当掩模版X向的一侧边抵顶在X向定位销上时，所述掩模版的X向中心与承版台的X向中心对准；所述X向定位杆在一第一X向驱动装置的驱动下能够沿X向移动，用于当掩模版X向的一侧边抵顶在X向定位销上时卡紧该掩模版X向的另一侧边。

3.如权利要求1所述的掩模台，其特征在于，所述Y向预对准机构对应于Y向尺寸最大的掩模版设有一对第一Y向定位组件，所述Y向预对准机构对应于其余尺寸的掩模版分别设有一对第二Y向定位组件。

4.如权利要求3所述的掩模台，其特征在于，所述一对第一Y向定位组件包括分别设置在承版台Y向相对两侧边缘的Y向固定式定位销和Y向定位杆，所述Y向固定式定位销的设置位置使得当所述Y向尺寸最大的掩模版Y向的一侧边抵顶在Y向固定式定位销上时，所述Y向尺寸最大的掩模版的Y向中心与承版台的Y向中心对准；所述Y向定位杆在一Y向驱动装置的驱动下能够沿Y向移动，用于当Y向尺寸最大的掩模版Y向的一侧边抵顶在Y向固定式定位销上时卡紧所述Y向尺寸最大的掩模版Y向的另一侧边。

5.如权利要求3或4所述的掩模台，其特征在于，所述一对第二Y向定位组件包括分别设置在承版台Y向相对两侧边缘的Y向移动式定位销和Y向定位杆，当承版台承载有所述其余尺寸的掩模版时，所述Y向移动式定位销在一第二X向驱动装置的驱动下沿X向移动到一设置位置，所述设置位置使得当所述其余尺寸的掩模版Y向的一侧边抵顶在Y向移动式定位销上时，所述其余尺寸的掩模版的Y向中心与承版台的Y向中心对准；所述Y向定位杆在一Y向驱动装置的驱动下能够沿Y向移动，用于当所述其余尺寸的掩模版Y向的一侧边抵顶在Y向移动式定位销上时卡紧所述其余尺寸的掩模版Y向的另一侧边。

6.如权利要求5所述的掩模台，其特征在于，所述第一Y向定位组件和各所述第二Y向定位组件共用一个Y向定位杆。

7.如权利要求1所述的掩模台，其特征在于，所述掩模版通过真空吸附固定在承版台上。

8.如权利要求1所述的掩模台，其特征在于，所述掩模台还包括电机连接板，用于连接驱动机构和机械预对准台，使得驱动机构能够带动机械预对准台运动。

9.如权利要求1所述的掩模台，其特征在于，所述掩模台还包括设置在Y向粗动电机的两侧的垂向支撑机构，用于为所述机械预对准台的移动提供垂向支撑。

10.如权利要求9所述的掩模台，其特征在于，所述垂向支撑机构为气浮垫。

11.如权利要求1所述的掩模台，其特征在于，所述Y向粗动电机和所述X向微动电机各有两个，所述两个Y向粗动电机分布在承版台的两侧，所述两个微动电机沿Y向设置在承版台的一侧。

12.如权利要求11所述的掩模台，其特征在于，分布在同一侧的Y向粗动电机和两个X向微动电机是一体式结构。