[发明专利]用于形成薄膜的大容量沉积设备

说明书

相关申请案的交叉引用

本申请主张2011年4月13日在韩国知识产权局申请的第10-2011-0034340号韩国专利申请的优先权及权利，所述申请的全部内容以引用的方式并入。

技术领域

本发明涉及一种用于形成薄膜的大容量沉积设备，并且尤其涉及一种用于形成薄膜的大容量沉积设备，其中有机物可蒸发并以薄膜的形式沉积于衬底上。

背景技术

有机发光装置是一种自身可以发光的下一代显示装置，与液晶显示器(LCD)装置的性能相比，下一代显示装置具有良好的视角、对比度、响应速度、功耗等。

有机发光装置包括以矩阵型连接于扫描线与数据线之间并形成像素的有机发光二极管。有机发光二极管包括阳极、阴极和在阳极与阴极之间形成并具有空穴传输层、有机发光层及电子传输层的有机薄膜层。当在阳极与阴极之间施加预定电压时，从阳极注入的空穴和从阴极注入的电子在发光层中重新组合，同时基于能量差而发射光。

在用于有机薄膜层的沉积过程中使用的有机物不需要高汽压，并且与无机物不同，有机物在高温下容易分解和变性。由于此材料性质，由钨材料制成的源容器装满有机物，并且加热此源容器以蒸发有机物，从而在衬底上沉积常规的有机薄膜。

然而，源容器能够储存的有机物的量有限，且因此出现了以下问题：有机物必须在沉积过程中频繁地重新装填，而且在所有这些场合下，用于形成薄膜的大容量沉积设备应在装填过程中停机。

虽然最近已提出一种通过提供大容量源容器来增加有机物的装填量的方法，但是因供应了更多热量给源容器以便加热增大的源容器并蒸发有机物，因此仍出现有机物变性的问题。

发明内容

因此，认为本发明可解决前述问题，并且本发明一方面提供一种用于形成薄膜的大容量沉积设备，其中多个源容器用以增加待容纳的源材料的量，以便可以延长用于沉积薄膜的设备的暂停周期，并且在增加源材料的蒸发速度的同时降低源材料的蒸发温度，以便可以提高设备的使用效率。

根据本发明的示范性实施例，提供一种用于形成薄膜的大容量沉积设备，设备包括：多个源容器，待沉积于衬底上的源材料以固态或液态容纳于多个源容器中；蒸发室，蒸发室在源容器上方与源容器耦合并连通，且来自源容器的已蒸发源材料穿过蒸发室；喷孔，喷孔形成于蒸发室的顶部上并向上喷射穿过蒸发室的已蒸发源材料；第一加热器，第一加热器在蒸发室内部提供于源容器上方并供热给源容器以蒸发容纳于源容器中的源材料；传感器，传感器安装在蒸发室中并感测穿过蒸发室的已蒸发源材料的量；和控制器，控制器从传感器获得关于蒸发室中的已蒸发源材料的量的反馈并控制从源容器蒸发的源材料的量。

根据本发明的另一个示范性实施例，提供一种用于形成薄膜的大容量沉积设备，设备包括：多个源容器，待沉积于衬底上的源材料以固态或液态容纳于多个源容器中；蒸发室，蒸发室在源容器上方与源容器耦合并连通，且来自源容器的已蒸发源材料穿过蒸发室；喷孔，喷孔形成于蒸发室的顶部上并向上喷射穿过蒸发室的已蒸发源材料；第一加热器，第一加热器在蒸发室内部提供于源容器上方并供热给源容器以蒸发容纳于源容器中的源材料；多个传感器，多个传感器安装在源容器中并感测从源容器流出的已蒸发源材料的量；和控制器，控制器从传感器获得关于源容器中的已蒸发源材料的量的反馈并控制从源容器蒸发的源材料的量。

根据本发明的又一个示范性实施例，提供一种用于形成薄膜的大容量沉积设备，设备包括：多个源容器，待沉积于衬底上的源材料以固态或液态容纳于多个源容器中；蒸发室，蒸发室在源容器上方与源容器耦合并连通，且来自源容器的已蒸发源材料穿过蒸发室；喷孔，喷孔形成于蒸发室的顶部上并向上喷射穿过蒸发室的已蒸发源材料；多个第一加热器，多个第一加热器提供于源容器中并供热给源容器以蒸发容纳于源容器中的源材料；传感器，传感器安装在蒸发室中并感测穿过蒸发室的已蒸发源材料的量；和控制器，控制器从传感器获得关于蒸发室中的已蒸发源材料的量的反馈并控制从源容器蒸发的源材料的量。