[发明专利]Y型分岔光波导及其制作方法在审
| 申请号： | 201210120366.3 | 申请日： | 2012-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN103376505A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 黄新舜 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/125 | 分类号： | G02B6/125;G02B6/138 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分岔 波导 及其 制作方法 | ||
1.一种Y型分岔光波导，其包括一个总枝，自该总枝末端延伸出的一个第一分枝及一个第二分枝，该第一分枝与该第二分枝共同形成一个分岔，其特征在于：该总枝末端于该分岔处具有一个端面，该第一分枝与该第二分枝由该端面连接。
2.如权利要求1所述的Y型分岔光波导，其特征在于：该第一分枝与该第二分枝对于该分岔的分岔角度小于或等于1度。
3.如权利要求1所述的Y型分岔光波导，其特征在于：该端面为一平面。
4.如权利要求1所述的Y型分岔光波导，其特征在于：该总枝包括该总枝末端所在的第一段及与该第一段连接的第二段，该第一段的横截面积大于该第二段的横截面积。
5.如权利要求4所述的Y型分岔光波导，其特征在于：该第一分枝及该第二分枝均呈直线自该总枝末端延伸出。
6.如权利要求5所述的Y型分岔光波导，其特征在于：该第二段所在的直线与该第一分枝所在的直线重合。
7.一种如权利要求1所述的Y型分岔光波导的制作方法，其包括：
提供一个导光基底及一个含有与权利要求1所述的Y型分岔光波导对应的图形的遮罩；以及
将该遮罩应用于黄光微影制程中以利用该遮罩于该导光基底形成该Y型分岔光波导。
8.如权利要求7所述的Y型分岔光波导的制作方法，其特征在于：该导光基底的材料为玻璃或铌酸锂。
9.如权利要求7所述的Y型分岔光波导的制作方法，其特征在于：该遮罩应用黄光微影制程预先制成。
10.如权利要求7所述的Y型分岔光波导的制作方法，其特征在于：该遮罩开设有用于定义该Y型分岔光波导的通孔，该通孔包括总孔段及自该总孔段末端延伸出的一个第一分孔段及一个第二分孔段，该第一分孔段与该第二分孔段共同形成一个凸部，该总孔段末端于该凸部处具有一个端面，该第一分孔段与该第二分孔段由该端面连接。
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