[发明专利]共轴光泵浦装置及其制造方法

权利要求书

1.一种共轴光泵浦装置，特征在于其构成是：沿泵浦光（1）的光路方向依次设有锥形凹透镜（2）、锥形凸透镜（3）、球形透镜（4）和带45°准直小孔的反射镜（6），该反射镜（6）与泵浦光束成45°夹角，用于探测的电子束（5）经过该反射镜（6）的准直小孔后入射到样品（7）上；

所述的泵浦光（1）经所述锥形凹透镜（2）、锥形凸透镜（3）和反射镜（6）之后的光轴、反射镜（6）的45°准直小孔的中轴、所述电子束（5）的中轴和样品（7）中心重合。

2.一种制造权利要求1 所述的共轴光泵浦装置的方法，其特征在于该方法包括以下步骤：

将所述的锥形凹透镜（2）和锥形凸透镜（3）组装成锥形望远镜系统，要求泵浦光（1）经过该锥形望远镜系统后，扩束并准直成套筒状的泵浦光束，但不改变方向；

在所述的套筒状的泵浦光束方向设置所述的反射镜（6），该反射镜（6）镜面与泵浦光束成45°夹角，使所述的反射镜（6）的45°准直小孔的中轴与所述电子束（5）的中轴同轴；

仔细调整所述的泵浦光（1）、锥形凹透镜（2）、锥形凸透镜（3）和反射镜（6），使所述的泵浦光（1）经所述锥形凹透镜（2）、锥形凸透镜（3）和反射镜（6）的光轴、反射镜（6）的45°准直小孔的中轴、所述电子束（5）的中轴和样品（7）中心重合； 

在所述的锥形凸透镜（3）和反射镜（6）之间的光路上添加球形透镜（4）；

调节所述的球形透镜（4）沿泵浦光（1）的前后位置，使所述的样品（7）上的激光光斑大小和电子束斑相匹配。