[发明专利]一种倒金字塔形发光二极管的制备方法无效
| 申请号： | 201210122440.5 | 申请日： | 2012-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN102629651A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 宋超;刘榕;张建宝 | 申请（专利权）人： | 华灿光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 36100 | 代理人： | 胡里程 |
| 地址： | 430223 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金字塔 发光二极管 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种倒金字塔形发光二极管的制备方法，其特征在于：该方法包括使用激光对管芯切割，使用激光多次以不同的切割参数切割，组合不同深度的激光划痕，去除部分蓝宝石衬底，之后使用抛光工艺，抛光衬底。
2.根据权利要求1所述倒金字塔形发光二极管的制备方法，其特征在于：通过激光划片形成的不同深度划痕的组合，使制备倒金字塔结构所需要去除的蓝宝石衬底大部分去除。
3.根据权利要求1所述倒金字塔形发光二极管的制备方法，其特征在于：进一步去除多余蓝宝石衬底，可以使用化学腐蚀方法，也可以使用机械抛光工艺，也可以使用先去除激光切割形成的灰尘后，使用化学腐蚀或者抛光的工艺。
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