[发明专利]一种基于激光冲击波的高效微凹坑制造方法及装置

说明书

方法及装置领域

本发明涉及金属材料表面微制造领域，具体地是指一种基于激光冲击波的高效微凹坑制造方法及装置。

背景方法及装置

通过在船舶及水下航行器表面制作微米尺度的微凹坑，是减少航行阻力的有效途径；在摩擦副表面制作微米尺度的微凹坑，可以用来储存润滑油及摩擦过程中产生的磨损碎片，大大提高摩擦副的耐磨性能；同时，微凹坑的制作也是微机电系统（MEMS）、生物方法及装置等领域的重要研究方向之一。

目前，在金属表面制备微凹坑的方法及装置主要有机械法、电化学法、电子束加工法和激光烧蚀法等。机械法存在刀具制造复杂、加工效率低的缺点；电化学法存在工艺复杂、易污染环境的缺点；电子束加工法存在加工效率低的缺点。专利201010221857.8提出了一种铝表面微凹坑制备方法，也存在着工艺复杂，加工效率低的缺点；激光烧蚀法会破坏表面的完整性，激光烧蚀产生的热效应会引起材料微观组织的变化以及在表面形成残余拉应力层，其凹坑表面粗糙度高；文献[Y.B. Guo, R. Caslaru, Fabrication and characterization of micro dent arrays produced by laser shock peening on titanium Ti–6Al–4V surfaces, Journal of Materials Processing Technology 211 (2011) 729–736]利用激光冲击波的力效应在Ti-6Al-4V表面制备了直径为200μm，深度为1μm的微凹坑。该方法制得的微凹坑，其表面光滑，并且在表层能形成一层残余压应力层，可以有效的提高表面的疲劳寿命。但是其缺点也很明显，微凹坑的半径由激光束经聚焦后形成的焦斑半径确定，并且每一次激光冲击只能形成一个微凹坑，其效率低下。

发明内容

本发明针对以上方法及装置的不足，提供一种基于激光冲击波的高效微凹坑制造方法及装置。高能脉冲激光经过透镜聚焦后，穿过金属网的微米尺度的微孔群，由于金属丝的遮挡作用，形成多束微米尺度的激光束，多束微细激光束继续透过约束层，辐照在吸收层表面，吸收层吸收激光能量产生等离子爆炸形成高强度的冲击波（高达数个GPa），约束层的作用是延长等离子爆炸的维持时间以提高冲击波峰值压力和延长冲击波的持续时间，工件表面在微细激光束形成的强大冲击波作用下，产生塑性变形，形成微凹坑。本发明包括激光器、聚焦透镜、夹具系统、橡胶垫片、金属网、垫块、流水层、吸收层、工件、工作台和控制系统。

所述的激光器为高能脉冲激光器，焦点位置光斑直径大于3mm，并且此时光斑内激光功率密度不小于1GW/CM²。

所述的聚焦透镜为长焦距透镜，其焦距大于1m，可以使穿过金属网的微细激光束近似于平行的激光束。

所述的橡胶垫片可以实现对金属网的可靠夹紧。

所述的金属网可以是各种具有微细孔的网，例如编织网，蚀刻网，其材质对激光的吸收率较小，孔径按需要选取，并且可以经受多次激光辐照，当孔径变化超过其孔径1/10后，必须及时更换。

所述的垫块，其放置于金属网下方，以使金属网跟吸收层表面保持一定距离，使金属网位于流水层表面上方，其距离大于1mm，以防止金属网受到由于水的约束作用产生的强大冲击波而导致的变形。同时为了最大程度的减少激光束通过小孔后的发散，该距离必须小于2.5mm， 

所述的吸收层为对激光能量具有较高吸收率的材料，其厚度大于150μm，，可以经受5次以上的激光辐照而不破裂，以实现对同一位置的多次冲击；同时也为了充分利用激光产生的冲击波的能量，其厚度必须小于250μm。

所述的吸收层为流水，以方便进行连续加工，其厚度为1mm~2mm左右。

所述的工作台，可以通过控制系统实现X,Y方向的两轴联动。以实现对整个待加工表面的处理。

本发明的有益效果如下：

1、通过改变金属网的孔径，可以获得不同孔径的微凹坑。

2、本发明中产生微凹坑不存在热作用，因此不会引起由于热效应对工件表层产生的不良效果。

3、本发明加工的微凹坑，其表层为压应力层，可有效提高工件疲劳寿命。

4、可以在同一位置进行多次冲击，获得高深径比的微孔群。

5、该方法可实现自动化，生产效率高，所用的关键部件成本低廉，可以实现大批量生产，如在本发明采用的激光器上，可以获得约48 cm²/min的加工效率。