[发明专利]表面声波式触控面板及其制造方法

权利要求书

1.一种表面声波式触控面板，其特征在于，包括：

一基板；

一压电材料层，其覆盖于该基板上方，其中，该压电材料层的材质包含一第一压电材料，该第一压电材料为氮化铝；

一电压供应电极，其设于该压电材料层表面，以提供一电压予该压电材料层，使该压电材料层产生一表面声波；

一电压接收电极，其设于该压电材料层表面，以接受该压电材料层的该表面声波所产生的电压值；以及

一绝缘保护膜，其保护该压电材料层、该电压供应电极、以及该电压接收电极。

2.如权利要求1所述的表面声波式触控面板，其特征在于，该基板是一透明基板。

3.如权利要求2所述的表面声波式触控面板，其特征在于，该透明基板是玻璃基板、石英基板或蓝宝石基板。

4.如权利要求2所述的表面声波式触控面板，其特征在于，该压电材料层为一透光膜。

5.如权利要求1所述的表面声波式触控面板，其特征在于，该压电材料层的材质还包含一第二压电材料，该第二压电材料选自由锆钛酸铅、钽酸锂、铌酸锂、二氧化硅、以及氧化锌所组群组的至少一压电材料。

6.如权利要求5所述的表面声波式触控面板，其特征在于，该压电材料层为第一压电材料与该第二压电材料的层叠结构。

7.如权利要求6所述的表面声波式触控面板，其特征在于，该第二压电材料设置于该第一压电材料的上表面、下表面或其上下两表面。

8.如权利要求1所述的表面声波式触控面板，其特征在于，该绝缘保护膜的材质为氮化硼、绝缘性类金刚石、或其组合。

9.如权利要求1所述的表面声波式触控面板，其特征在于，该绝缘保护膜表面是掺杂选自由氢、氧、氮、氟、以及氯所组群组的至少一元素。

10.如权利要求1所述的表面声波式触控面板，其特征在于，该电压供应电极以及该电压接收电极的材质为铝或钛。

11.如权利要求1所述的表面声波式触控面板，其特征在于，该压电材料层具有一第一侧缘与一相对于该第一侧缘的第二侧缘，且该电压供应电极沿着该第一侧缘设置，该电压接收电极沿着该第二侧缘设置。

12.如权利要求1所述的表面声波式触控面板，其特征在于，该压电材料层具有一第一侧缘、一相对于该第一侧缘的第二侧缘、以及一邻接该第一侧缘与该第二侧缘的第三侧缘，且该电压供应电极与该电压接收电极沿着该第一侧缘的方向与该第三侧缘的方向间隔设置。

13.如权利要求1所述的表面声波式触控面板，其特征在于，该压电材料层具有一第一侧缘、一相对于该第一侧缘的第二侧缘、以及一邻接该第一侧缘与该第二侧缘的第三侧缘，且该电压供应电极与该电压接收电极分别沿着该第一侧缘的方向上排列成行，并于该第三侧缘的方向上间隔设置。

14.一种表面声波式触控面板的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一基板；

于该基板表面上形成一压电材料层，其中，该压电材料层的材质包含一第一压电材料，该第一压电材料为氮化铝；

于该压电材料层表面形成一电压供应电极以及一电压接收电极，其中，该电压供应电极是用以提供一电压予该压电材料层，使该压电材料层产生一表面声波，该电压接收电极设用以接受该压电材料层的该表面声波所产生的电压值；以及

形成一绝缘保护膜，其覆盖该压电材料层、该电压供应电极、以及该电压接收电极。

15.如权利要求14所述的表面声波式触控面板的制造方法，其特征在于，该基板是一透明基板。

16.如权利要求15所述的表面声波式触控面板的制造方法，其特征在于，该透明基板是玻璃基板、石英基板或蓝宝石基板。

17.如权利要求15所述的表面声波式触控面板的制造方法，其特征在于，该压电材料层为一透光膜。

18.如权利要求14所述的表面声波式触控面板的制造方法，其特征在于，该压电材料层的材质还包含一第二压电材料，该第二压电材料选自由锆钛酸铅、钽酸锂、铌酸锂、二氧化硅、以及氧化锌所组群组的至少一压电材料。