[发明专利]等离子体处理装置有效
申请号: | 201210127627.4 | 申请日: | 2012-04-26 |
公开(公告)号: | CN102647847A | 公开(公告)日: | 2012-08-22 |
发明(设计)人: | 角田孝典;松原克夫;安东靖典;辻藏行 | 申请(专利权)人: | 日新电机株式会社 |
主分类号: | H05H1/46 | 分类号: | H05H1/46;C23C16/505;H01J37/32 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 日本京都府京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 等离子体 处理 装置 | ||
1.一种等离子体处理装置,其是通过使高频电流流入平面形状为平直的天线中而使真空容器内产生感应电场,生成等离子体,且利用该等离子体对基板实施处理的电感耦合型等离子体处理装置,其特征在于:
由相互接近而配置在使竖立在所述基板表面的垂线伸缩的方向上且使所述高频电流相互逆向地流动的返回导体构成所述天线,
且使所述返回导体间的在使所述垂线伸缩的方向上的间隔,在所述天线的长度方向上进行变化。
2.根据权利要求1所述的等离子体处理装置,其特征在于:
将所述返回导体间的在使所述垂线伸缩的方向上的间隔,设成在所述天线的长度方向上的两端部的间隔大于中央部的间隔。
3.根据权利要求1或2所述的等离子体处理装置,其特征在于:
包括多个所述天线,且该些所述天线为相互并联配置,
该等离子体处理装置是以经由与各该天线分别串联连接的可变阻抗,将高频电力并列地自共通的高频电源供给到该多个天线的方式构成。
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