[发明专利]划刻光伏器件期间随时间改变激光强度的方法

权利要求书

1.一种激光划刻膜堆叠(13)的方法，所述膜堆叠包括衬底(12)上的多个薄膜层，所述方法包括：

施加激光束(30)的脉冲到所述膜堆叠(13)上，其中所述激光束(30)具有在完成预定功率周期的脉冲期间作为时间的函数而变化的功率，其中所述脉冲持续大约0.1纳秒至大约500纳秒；以及

跨所述膜堆叠(13)重复所述激光束(30)的脉冲以形成通过所述衬底(12)上的薄膜层中的至少一个的划刻线(44)。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述功率周期限定不同于第二功率水平的第一功率水平，其中所述第一功率水平配置成划刻所述衬底(12)上的第一薄膜层，并且其中所述第二功率水平配置成划刻下面的第二薄膜层。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述功率周期限定不同于第二功率水平的第一功率水平，其中所述激光束(30)的功率对于是所述脉冲的大约10％至大约90％的第一持续时间保持在所述第一功率水平。

4.如权利要求3所述的方法，其中所述激光束的功率对于第二持续时间保持在所述第二功率水平，所述第二持续时间短于所述第一持续时间，并且其中所述第一功率水平小于所述第二功率水平。

5.如权利要求4所述的方法，其中所述第二持续时间是所述脉冲的大约0.5％至小于所述脉冲的50％。

6.如权利要求3所述的方法，其中所述功率周期进一步限定第三功率水平，其不同于所述第一功率水平和所述第二功率水平两者，其中所述激光束(30)的功率对于是所述脉冲的大约0.001％至大约50％的第三持续时间保持在所述第三功率水平。

7.如权利要求6所述的方法，其中所述激光束(30)的功率对于所述脉冲持续时间的大约0.01％至大约25％保持在所述第三功率水平。

8.如权利要求6所述的方法，其中所述第一功率水平小于所述第三功率水平和第二功率水平两者。

9.如权利要求8所述的方法，其中在所述脉冲的功率周期中，所述第三功率水平在顺序上是在所述第一功率水平之前，并且其中在所述脉冲的功率周期中，所述第一功率水平在顺序上是在所述第二功率水平之前。

10.一种激光划刻基于碲化镉薄膜的光伏器件的方法，所述方法包括：

提供基于碲化镉薄膜的光伏器件(10)，其中所述基于碲化镉薄膜的光伏器件(10)包括玻璃顶板(12)和膜堆叠(13)，所述膜堆叠(13)包括所述玻璃顶板(12)之上的透明导电氧化物层(14)、所述透明导电氧化物层(14)之上的高阻透明缓冲层(16)、所述高阻透明缓冲层(16)之上的硫化镉层(18)以及所述硫化镉层(18)上的碲化镉层(20)；

施加激光束(30)的脉冲到所述膜堆叠(13)上，其中所述激光束(30)具有在根据预定功率周期的脉冲期间作为时间的函数而变化的功率，其中所述脉冲持续大约0.1纳秒至大约500纳秒；以及

跨所述基于碲化镉薄膜的光伏器件(10)重复所述激光束(30)的脉冲以在所述膜堆叠(13)中形成划刻线。

11.如权利要求10所述的方法，其中所述功率周期限定不同于第二功率水平的第一功率水平，其中所述激光束(30)的功率对于是所述脉冲的大约10％至大约90％的第一持续时间保持在所述第一功率水平。

12.如权利要求11所述的方法，其中在所述脉冲的功率周期中，所述第一功率水平在顺序上是在所述第二功率水平之前。

13.如权利要求11所述的方法，其中所述激光束(30)的功率对于第二持续时间保持在所述第二功率水平，所述第二持续时间短于所述第一持续时间，并且其中所述第一功率水平小于所述第二功率水平。

14.如权利要求11所述的方法，其中所述功率周期进一步限定第三功率水平，其不同于所述第一功率水平和所述第二功率水平两者，其中所述激光束的功率对于是所述脉冲的大约0.5％至大约50％的第三持续时间保持在所述第三功率水平。

15.如权利要求14所述的方法，其中在所述脉冲的功率周期中，所述第三功率水平在顺序上是在所述第一功率水平之前，并且其中在所述脉冲的功率周期中，所述第一功率水平在顺序上是在所述第二功率水平之前。