[发明专利]一种横向设置的强流电子注截面三坐标扫描测量系统

权利要求书

1.一种强流电子注截面三坐标扫描测量系统，包括一个测量工作区腔体(101)和一套法拉第筒传感器系统(401)，其特征在于，

在所述测量工作区腔体(101)的内部具有一套高真空运动机构，该机构包括一个高真空三坐标移动平台(201)，所述高真空三坐标移动平台(201)是由可在两两之间相互正交的三个方向上可精密移动的移动平台组合而成；

所述法拉第筒传感器系统(401)包括由法拉第外筒和法拉第内筒构成的法拉第传感器，所述法拉第筒传感器设置在一个法拉第筒传感器支撑杆(5)的端部，所述法拉第筒传感器支撑杆(5)是一个中空的管道，其中心具有绝缘于法拉第筒传感器支撑杆(5)的内壁及法拉第筒外筒(7)的电流引线(6)，该电流引线(6)用于收集内筒的微电流；

所述法拉第筒传感器支撑杆(5)固定在所述高真空运动机构上，通过所述高真空运动机构的驱动，其能够在所述三个方向上移动和定位。

2.如权利要求1所述的强流电子注截面三坐标扫描测量系统，其特征在于，所述测量工作区腔体(101)由无磁不锈钢制成，并且真空度为1×10^-6Pa。

3.如权利要求1所述的强流电子注截面三坐标扫描测量系统，其特征在于，所述测量工作区腔体(101)为圆柱形筒状器件，并且其轴向与水平面平行。

4.如权利要求1所述的强流电子注截面三坐标扫描测量系统，其特征在于，所述高真空运动机构还包括三个高真空步进电机(301)，用于分别驱动所述高真空三坐标移动平台(201)在所述三个方向上移动。

5.如权利要求1所述的强流电子注截面三坐标扫描测量系统，其特征在于，所述法拉第筒传感器系统中的金属材料均由无磁金属材料制成。

6.如权利要求1所述的强流电子注截面三坐标扫描测量系统，其特征在于，所述法拉第筒传感器系统具有循环水冷结构。

7.如权利要求1所述的强流电子注截面三坐标扫描测量系统，其特征在于，所述法拉第筒传感器支撑杆(5)在整个测量量程范围内，其端部的法拉第筒传感器下垂幅度小于0.02mm。

8.如权利要求1所述的强流电子注截面三坐标扫描测量系统，其特征在于，还包括一套工控机控制管理数据采集处理系统(501)，其用于采集强流电子注密度分布图形及所需参量。

9.如权利要求8所述的强流电子注截面三坐标扫描测量系统，其特征在于，所述工控机控制管理数据采集处理系统(501)是由一套微电流放大器(9)、一个实验操作系统(10)和一个数据采集处理系统(11)组成。

10.如权利要求9所述的强流电子注截面三坐标扫描测量系统，其特征在于，所述微电流放大器(9)是单脉冲微电流放大器，所述数据采集处理系统(11)用于记录、处理、显示所测电子注三维、二维电流密度分布图形及所需参量。