[发明专利]三维测量装置

权利要求书

1.一种三维测量装置，其包括：

第1照射机构，该第1照射机构具有发出规定的光的第1光源与第1光栅，该第1光栅将来自该第1光源的光变换为具有条纹状的光强度分布的第1光图案，该第1照射机构能将该第1光图案从第1位置照射到被测量物；

第1光栅控制机构，该第1光栅控制机构控制上述第1光栅的移送或切换，多次地改变从上述第1照射机构照射的上述第1光图案的相位；

第2照射机构，该第2照射机构具有发出规定的光的第2光源与第2光栅，该第2光栅将来自该第2光源的光变换为具有条纹状的光强度分布的第2光图案，该第2照射机构能将该第2光图案从与第1位置不同的第2位置照射到被测量物；

第2光栅控制机构，该第2光栅控制机构控制上述第2光栅的移送或切换，多次地改变从上述第2照射机构照射的上述第2光图案的相位；

摄像机构，该摄像机构能对来自照射了上述第1光图案或第2光图案的上述被测量物的反射光进行摄像；

图像处理机构，该图像处理机构依据多个图像数据通过相移法进行三维测量，该多个图像数据依据相位多次发生变化的上述第1光图案或第2光图案的照射而获得，其特征在于，

在进行第1摄像处理之后进行第2摄像处理，在上述第1摄像处理和上述第2摄像处理结束后，同时地进行上述第1光栅和上述第2光栅的移送或切换处理，

上述第1摄像处理为，照射上述相位不同的多个第1光图案而进行的多次摄像处理中的一次，

上述第2摄像处理为，照射上述相位不同的多个第2光图案而进行的多次摄像处理中的一次。

2.一种三维测量装置，其包括：

第1照射机构，该第1照射机构具有第1光源与第1光栅，该第1光源发出具有第1波长成分的光，该第1光栅将来自该第1光源的光变换为具有条纹状的光强度分布的第1光图案，该第1照射机构能将该第1光图案从第1位置照射到被测量物；

第1光栅控制机构，该第1光栅控制机构控制上述第1光栅的移送或切换，多次地改变从上述第1照射机构照射的上述第1光图案的相位；

第2照射机构，该第2照射机构具有第2光源与第2光栅，该第2光源发出具有与上述第1波长成分不同的第2波长成分的光，该第2光栅将来自该第2光源的光变换为具有条纹状的光强度分布的第2光图案，该第2照射机构能将该第2光图案从与上述第1位置不同的第2位置照射到被测量物；

第2光栅控制机构，该第2光栅控制机构控制上述第2光栅的移送或切换，多次地改变从上述第2照射机构照射的上述第2光图案的相位；

摄像机构，该摄像机构能针对每个光成分，将反射光分离，进行摄像，该反射光来自照射了上述第1光图案和第2光图案的上述被测量物；

图像处理机构，该图像处理机构依据多个图像数据通过相移法进行三维测量，该多个图像数据依据相位多次发生变化的上述第1光图案或第2光图案的照射而获得，其特征在于，

在进行第1摄像处理的同时，进行第2摄像处理，在上述第1摄像处理和上述第2摄像处理结束后，同时地进行上述第1光栅和上述第2光栅的移送或切换处理，

上述第1摄像处理为，照射上述相位不同的多个第1光图案而进行的多次摄像处理中的一次，

上述第2摄像处理为，照射上述相位不同的多个第2光图案而进行的多次摄像处理中的一次。

3.根据权利要求1所述的三维测量装置，其特征在于，至少在进行上述各摄像处理的期间，将上述摄像机构和上述被测量物的位置关系固定。

4.根据权利要求2所述的三维测量装置，其特征在于，至少在进行上述各摄像处理的期间，将上述摄像机构和上述被测量物的位置关系固定。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的三维测量装置，其特征在于，将上述第1光图案作为第1周期的光图案，并且将上述第2光图案作为与第1周期不同的第2周期的光图案。