[发明专利]一种强流电子注分析仪的电子注截面测量系统

权利要求书

1.一种用于强流电子注分析仪的电子注截面测量系统，包括一个高真空腔体(101)，该高真空腔体(101)具有一个前接口(101)，用于连接外部设备，其特征在于，所述高真空腔体(101)横向水平安置，并且，所述电子注截面测量系统还包括一个YAG支筒支撑与运动机构(301)和一个YAG晶体探测器(201)，

所述YAG支筒支撑与运动机构(301)位于所述高真空腔体(101)内，用于对所述YAG晶体探测器(201)进行支撑；

所述YAG晶体探测器(201)用于探测电子注空间密度分布。

2.如权利要求1所述的电子注截面测量系统，其特征在于，所述YAG晶体探测器(201)是一个X光韧致辐射YAG晶体探测器，其包括掺Ce的YAG晶体(3)和在该YAG晶体前安置的钼片(4)。

3.如权利要求1所述的电子注截面测量系统，其特征在于，所述YAG支筒支撑与运动机构(301)包括YAG支筒(5)，所述YAG晶体探测器(201)安置在所述YAG支筒(5)的前端。

4.如权利要求3所述的电子注截面测量系统，其特征在于，所述YAG支筒(5)由无磁金属材料双层管道制成，并且是一个中空的管状元件，内管构成一个光学通道。

5.如权利要求4所述的电子注截面测量系统，其特征在于，所述YAG支筒支撑与运动机构(301)还包括光学导轨(7)和滑动支架(6)，所述滑动支架(6)用于支撑所述YAG支筒(5)，并且所述光学导轨(7)固定在高真空腔体(101)的底部，所述滑动支架(6)与所述光学导轨(7)耦合并能够相对地滑动。

6.如权利要求5所述的电子注截面测量系统，其特征在于，所述电子注截面测量系统还包括一个位于高真空腔体(101)外的一个光学平台(8)上的主杆运动定位机构(401)，其用于控制所述YAG支筒支撑与运动机构(301)的运动和定位。

7.如权利要求6所述的电子注截面测量系统，其特征在于，所述主杆运动定位机构(401)包括伺服电机(9)、YAG主杆(11)和刚性连接器(14)，所述YAG主杆(11)用于带动所述YAG支筒(5)在所述光学导轨(7)上运动，所述刚性连接器(14)用于连接所述YAG主杆(11)及所述滑动支架(6)。

8.如权利要求7所述的电子注截面测量系统，其特征在于，所述电子注截面测量系统还包括一个随动光学平台(13)和一个光学观测照相部件(501)，所述随动光学平台(13)安置在所述YAG主杆运动定位机构(401)的一侧，并随该YAG主杆运动定位机构(401)同步运动，且所述随动平台(13)可三维调节，所述光学观测照相部件(501)安装在所述随动光学平台(13)上，其用于对YAG探测器(201)产生的光学图像进行探测。

9.如权利要求7所述的电子注截面测量系统，其特征在于，所述光学观测照相部件(501)包括直角三棱镜(10)、望远镜(15)和CCD相机(12)，所述直角三棱镜(10)用于将光路偏转90度进入所述CCD相机(12)中，所述望远镜(15)和CCD相机(12)用于观测图像。