[发明专利]一种用于强流电子注分析仪的可移动极间距电子枪系统

权利要求书

1.一种用于强流电子注分析仪的电子枪系统，包括一个主真空腔体(301)和位于该主真空腔体(301)内的电子枪，所述电子枪包括一个阳极(7)、一个阴极(8)和一个栅极(9)，所述主真空腔体(301)包括一个用于将所述阳极(7)引出所述主真空腔体(301)外的低压馈电头(17)，其特征在于：

所述主真空腔体(301)横向水平安置；

所述电子枪系统还包括一个同心轴组件(302)，其水平插入所述主真空腔体(301)，并且，其一端位于所述主真空腔体(301)内，另一端延伸于所述主真空腔体(301)外；并且

所述阴极(8)和所述栅极(9)安装在所述同心轴组件(302)上。

2.如权利要求1所述的强流电子注分析仪的电子枪系统，其特征在于，所述主真空腔体(301)的真空度为1×10^-6pa。

3.如权利要求2所述的用于强流电子注分析仪的电子枪系统，其特征在于，所述阳极(7)通过一个阳极固定装置(303)固定于所述主真空腔体(301)的前端。

4.如权利要求2所述的用于强流电子注分析仪的电子枪系统，其特征在于，所述同心轴组件(302)用于使所述阴极(8)和所述栅极(9)分别沿同心轴组件(302)的轴向进行运动和定位。

5.如权利要求4所述的用于强流电子注分析仪的电子枪系统，其特征在于，所述主真空腔体(301)包括一个观察窗(1)，其用于观察和测量所述阴极(8)和栅极(9)的距离。

6.如权利要求4所述的用于强流电子注分析仪的电子枪系统，其特征在于，所述同心轴组件(302)包括阴极内同心轴(4)和栅极外同心轴(5)，所述阴极内同心轴(4)和所述栅极外同心轴(5)内外相套。

7.如权利要求6所述的用于强流电子注分析仪的电子枪系统，其特征在于，所述阴极内同心轴(4)位于主真空腔体(301)内的一端，用于安置所述阴极(8)；所述栅极外同心轴(5)位于主真空腔体(301)内的一端，用于安置所述栅极(9)。

8.如权利要求7所述的用于强流电子注分析仪的电子枪系统，其特征在于，所述阴极(8)通过一个阴极陶瓷环(10)固定于阴极内同心轴(4)，所述栅极(9)通过一个栅极陶瓷环(11)固定在栅极外同心轴(5)。

9.如权利要求6所述的用于强流电子注分析仪的电子枪系统，其特征在于，所述电子枪系统还包括一个光学平台(305)，所述光学平台(305)位于所述主真空腔体(301)的外部，且位于所述同心轴组件(302)的下方，用于支撑和定位所述同心轴组件(302)。

10.如权利要求9所述的用于强流电子注分析仪的电子枪系统，其特征在于，该光学平台(305)包括阴极光学平台(13)和栅极光学平台(14)，其分别用于支撑所述阴极内同心轴(4)及栅极外同心轴(5)，并使之分别能在轴向进行水平移动，并且，所述阴极光学平台(13)安装在所述栅极光学平台(14)之上。