[发明专利]液晶制程中炉体的双路循环冷却系统

说明书

技术领域

本发明涉及冷却系统，尤其涉及一种液晶制程中炉体的双路循环冷却系统。

背景技术

在现有液晶制程中的烘干、固化、退火等步骤都需要用到用于加热的炉体。参见图1，其为现有液晶制程中一种炉体的立体结构示意图。现有液晶制程中所使用的炉体10，因要保持炉体10内的洁净等级，炉体10内通常配有供排气系统，通过净化管11通入洁净空气，使炉体10内形成正压，并通过排气管12向外排气，气体流动方向以箭头表示。此外，炉体10的遮板侧13和后维修门侧14均可以打开以操作炉体10的内部。

为保证液晶产品的质量，炉体需要时常进行养护。目前，液晶制程上所采用的炉体在维护时必须先将炉内温度降下来才能进行人为养护，但由于目前炉体内降温采用自然冷却的方式，从高温150℃(示例温度)降至60℃以下所需时间较长(约6小时)，成为整条液晶产线保养耗时的瓶颈。

这是由于炉体降温时间较长，而此段时间由于高温导致人员无法进行保养，属无效时间。因无效时间过长，导致了炉体保养耗时过长，单台炉体至少需要一天，从而导致整条产线(Line)的保养时间过长。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种加速炉体内降温速度的液晶制程中炉体的双路循环冷却系统。

为实现上述目的，本发明提供一种液晶制程中炉体的双路循环冷却系统，包括水泵、水槽、抽水管、回流管、第一冷却管路及第二冷却管路，所述水泵、水槽、抽水管及回流管位于炉体外部，所述第一冷却管路和第二冷却管路为位于炉体内部的平行并列的两排冷却管路；所述水泵经由抽水管将水槽中容纳的冷却物抽至炉体内部的第一冷却管路和第二冷却管路中，冷却物带走炉体内部的热量后再经由回流管排入水槽中，第一冷却管路和第二冷却管路内冷却物流动方向相反。

其中，所述水泵为自吸式水泵。

其中，所述冷却物为液晶滴入制程的回收水。

其中，所述水槽为供磨边制程使用的液晶滴入制程回收水的暂存缓冲。

其中，所述第一冷却管路及第二冷却管路为不锈钢管。

其中，所述第一冷却管路及第二冷却管路为陶瓷管。

其中，所述第一冷却管路安装于炉体内部的排气管中。

其中，所述第二冷却管路安装于炉体内部的排气管中。

其中，所述第一冷却管路及第二冷却管路安装于炉体内部的排气管中。

其中，所述第一冷却管路及第二冷却管路的管路形状为方波形折线。

本发明液晶制程中炉体的双路循环冷却系统可以加速炉内降温速度，减少无效的降温时间，从而缩短整条产线的保养维护时间，提高生产效率；本发明采用冷却水循环系统，在炉体内加装双路冷却水循环系统，通过水泵将缓冲槽(Buffer Tank)中的水抽至炉体内，几乎不用增加任何成本，使整个炉体降温均匀；可以依现有炉体进行改造，用较小的费用达到较好的冷却效果。

附图说明

下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其他有益效果显而易见。

附图中，

图1为现有液晶制程中炉体的立体结构示意图；

图2为本发明液晶制程中炉体的双路循环冷却系统一较佳实施例的结构示意图；

图3为本发明液晶制程中炉体的双路循环冷却系统一较佳实施例的第一冷却管路及第二冷却管路的结构示意图；

图4为依照本发明改造现有液晶制程中炉体得到的排气管的侧视图；

图5为图4中排气管的主视图。

具体实施方式