[发明专利]用于气体传输系统的优化的防激活组件及其方法

权利要求书

1.一种耦合至等离子处理中心的输入歧管的集成气体棒，该集成气体棒控制进入该输入歧管中的工艺气体的流动，包括：

气体阀，可操作地耦合至该输入歧管；

肘节臂，配置为位于肘节激活位置和肘节反激活位置之一；

上锁机构，与该气体阀耦合，该上锁机构被配置为当锁用于该上锁机构时在没有绕过锁的情况下，阻止该肘节臂从该肘节反激活位置重新置位到该肘节激活位置；

肘节操作开关，耦合至该肘节臂；

压力联结器，用于接收压缩气体；

转接头配件，具有上配件、与该上配件相对的下配件、以及与该上配件、下配件均成直角的侧配件，该侧配件耦合至该压力联结器，该上配件耦合至该肘节操作开关，以及该下配件耦合至该气体阀，该肘节臂设置在该肘节操作开关的上方，

其中当该肘节臂设置在该肘节激活位置内时，该肘节操作开关允许该压缩气体通过转接头配件到达该气体阀，由此允许该压缩气体，当存在时，激活该气体阀，从而允许该工艺气体在该输入歧管内流动，以及可替换地允许该压缩气体，当存在时，反激活该气体阀，从而防止该工艺气体在该输入歧管内流动，

以及当该肘节臂处于反激活位置时，该肘节操作开关阻止该压缩气体通过该转接头配件到达该气体阀，由此使得该肘节操作开关不管是否提供压缩气体都能够间接阻止该工艺气体在该歧管内流动。

2.根据权利要求1所述的集成气体棒，其中该肘节操作开关被配置为当该肘节臂从该肘节激活位置移动到肘节反激活位置时，将该压缩气体从该气体阀内部排出。

3.根据权利要求1所述的集成气体棒，其中该上锁机构包括：第一面板，具有空间，该肘节臂穿过该空间设置；第二面板，与第一面板耦合，该第二面板具有被配置为接收该锁的锁孔，其中当该锁设置在该锁孔内时，该肘节臂被阻止从该肘节反激活位置移动到该肘节激活位置。

4.根据权利要求3所述的集成气体棒，其中该第一面板夹在该肘节操作开关与该肘节臂之间。

5.根据权利要求1所述的集成气体棒，其中该气体阀被用于等离子处理系统。

6.根据权利要求1所述的集成气体棒，其中该气体阀是用于等离子处理系统的气体棒输入阀。

7.根据权利要求1所述的集成气体棒，其中该气体阀是集成表面安装阀。

8.根据权利要求1所述的集成气体棒，进一步包括用于标示所述气体阀的反激活状态的挂签机构。

9.根据权利要求1所述的集成气体棒，其中包含该气体阀、该肘节操作开关以及该肘节臂的组件以关于该输入歧管垂直的方向安装。