[发明专利]压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，该压力传感器具有：

受压单元，其具有挠性部和所述挠性部外侧的周缘区域，所述挠性部的一个主面具有受压面；

外壳，其开口部被作为所述一个主面的内侧的另一个主面封闭；以及

双音叉型压电振子，其具有连接在所述另一个主面的中央区域的第1基部、第2基部、以及在所述第1基部和所述第2基部之间的振动臂，所述第1基部和所述第2基部的排列方向与所述受压单元的位移方向平行，

该压力传感器的特征在于，

所述第2基部被通过连接单元连接到所述另一个主面的所述周缘区域，所述连接单元具有隔着所述振动臂从所述第2基部向第1基部侧延伸的一对支承板。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述第1基部连接到设于所述挠性部的中央的固定部。

3.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述第1基部经由加强部与所述连接单元连接。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的压力传感器，其特征在于，

该压力传感器具有反作用力生成部，该反作用力生成部连接到所述受压单元，使用砝码，通过杠杆原理对所述受压单元施加与所述受压单元承受的重力相反方向的力，

所述反作用力生成部是如下的压板结构：在力点配置所述砝码，将作用点连接到所述双音叉型压电振子的所述第1基部或所述受压单元的中央区域，将支点设为形成在所述连接单元上的突起而由该突起保持。

5.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，

所述反作用力生成部隔着所述双音叉型压电振子形成一对。

6.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，

在所述砝码表面配设有金属膜。

7.根据权利要求1～3中的任意一项所述的压力传感器，其特征在于，

所述外壳通过金属拉伸加工而一体成型。

8.根据权利要求1～3中的任意一项所述的压力传感器，其特征在于，

所述外壳具有与所述开口部对置形成的第2开口部，所述第2开口部由第2受压单元封闭，并且

所述受压单元和所述第2受压单元经由力传递轴连接。