[发明专利]一种氮化硅纳米纤维毡的制备方法有效
申请号: | 201210135940.2 | 申请日: | 2012-05-04 |
公开(公告)号: | CN102659086A | 公开(公告)日: | 2012-09-12 |
发明(设计)人: | 邵长伟;宋永才;谢征芳;简科;王浩;王军 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
主分类号: | C01B21/068 | 分类号: | C01B21/068;B82Y40/00 |
代理公司: | 长沙星耀专利事务所 43205 | 代理人: | 宁星耀;许伯严 |
地址: | 410073 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氮化 纳米 纤维 制备 方法 | ||
1.一种氮化硅纳米纤维毡的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)选取所需形状的石墨板、石墨片或石墨纸为基板,用去离子水清洗,晾干或烘干,备用;
(2)将含Si-C键的聚合物和经步骤(1)处理的石墨基板放入反应炉内;
(3)使用真空泵将反应炉内压力抽至100Pa以下;
(4)向反应炉中通氮气或氨气,至压力0.1-0.5MPa;
(5)向反应炉中通NH3或NH3与惰性气氛的混合气,控制流量在30L/h-400L/h,升温至500-1400℃时,保温0.4-3小时;升温速度为100-350℃/h;
(6)停止通入NH3或NH3与惰性气氛的混合气,再改通氮气或密闭炉体,随炉冷却;
(7)当反应炉温度降到100℃以下时,取出石墨基板,即成。
2.根据权利要求1所述的氮化硅纳米纤维毡的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,所述含Si-C键的聚合物是聚硅烷或聚硅碳烷。
3.根据权利要求1所述的氮化硅纳米纤维毡的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,所述含Si-C键的聚合物是聚碳硅烷。
4.根据权利要求1或2或3所述的氮化硅纳米纤维毡的制备方法,其特征在于,步骤(3)中,使用真空泵将炉内压力抽至20Pa以下。
5.根据权利要求1或2或3所述的氮化硅纳米纤维毡的制备方法,其特征在于,步骤(5)中,所述惰性气氛为氩气或氦气。
6.根据权利要求1或2或3所述的氮化硅纳米纤维毡的制备方法,其特征在于,步骤(5)中,所述惰性气氛为N2。
7.根据权利要求1或2或3所述的氮化硅纳米纤维毡的制备方法,其特征在于,步骤(5)中,所述NH3与惰性气氛的混合气为NH3体积浓度≥50%的混合气氛。
8.根据权利要求1或2或3所述的氮化硅纳米纤维毡的制备方法,其特征在于,步骤(5)中,向反应炉中通NH3或NH3与惰性气氛的混合气,控制流量在150/h-250L/h,升温至1000-1300℃,保温0.5-1小时;升温速度为180-300℃/h。
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