[发明专利]一种光刻机自动对准的图像处理方法

权利要求书

1.一种光刻机自动对准的图像处理方法，其特征在于，图像处理的步骤包括：

步骤S1：通过2路独立的CCD，同时获取掩模和硅片上的左右标记图像

步骤S2：对采集到的标记图像进行噪声平滑预处理，消除图像信号中的噪声，且保持原有的图像边缘

步骤S3：对去噪声的图像求直方图，对直方图进行高斯平滑，求出最佳阈值进行二值化，最后采用视频求和法确定标记边缘

步骤S4:忽略标记的倾斜角度而直接采用求和投影带来边缘的定位误差，再采用梯度算法进行边缘判断；由梯度的性质可知，在灰度陡变区，梯度值大，在灰度相似区域，梯度值小，在灰度级为常数区，梯度值为零，从而判断二值图像的边缘点

步骤S5：根据图像的边缘点集，用最小二乘法拟合确定中线方程，求出标记的中心位置，再根据对准原理，求出掩模坐标系中心相对于硅片坐标系中心的位置关系（ΔX，ΔY），以及坐标轴的位置关系Δθ；

步骤S6：如果ΔX，ΔY，Δθ满足了系统的对准精度要求，则停止工件台的运动；否则执行步骤S1，直到满足要求为止。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机自动对准的图像处理方法，其特征在于：掩模和硅片上的标记X，Y方向是对称的，且所做标记的尺寸经光学放大后应在CCD视场范围内。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机自动对准的图像处理方法，其特征在于：图像的预处理采用一种边缘保持非线性滤波方法，充分利用信号的局部统计特性，保护图像边缘，其表示为如下：

g(x,y)＝f(x,y)+n(x,y)

式中f(x,y),g(x,y),n(x,y)分别表示未受干扰图像、有噪声图像和零均值白噪声；f(x,y)的估值为：

f^(x,y)=k(x,y)g(x,y)+[1-k(x,y)]g‾(x,y)]]>

k(x,y)=1-σn2(x,y)σg2(x,y)]]>

式中表示g(x,y)的局部均值，分别表示g(x,y)，n(x,y)的局部方差,k(x,y)为引入的一个增益因子。