[发明专利]冷却系统及具该系统的热退火炉管和冷却方法

权利要求书

1.一种冷却系统，用于热退火炉管的冷却，其特征在于，所述冷却系统包括设置在所述热退火炉管的工艺气体入端一侧并依次顺序连接的冷却气体进端、第一调节阀和第一鼓风机；以及设置在所述热退火炉管的反应后高温气体出端一侧并依次顺序连接的热交换器、第二鼓风机、第二调节阀和反应后气体出端。

2.如权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，所述热交换器采用冷却水循环进行热交换。

3.如权利要求2所述的冷却系统，其特征在于，所述热交换器上间隔设置冷却水入端和冷却水出端。

4.一种具有如权利要求1所述的冷却系统的热退火炉管，其特征在于，所述热退火炉管进一步包括加热器和工艺腔室。

5.如权利要求4所述的热退火炉管，其特征在于，所述热退火炉管进一步包括将所述冷却系统中的冷却气体通过第一鼓风机输送至所述热退火炉管的内部并对所述加热器和工艺腔室进行冷却的冷却介质传输装置。

6.如权利要求5所述的热退火炉管，其特征在于，所述冷却介质传输装置包括设置在所述热退火炉管外侧的导热孔和导管。

7.如权利要求6所述的热退火炉管，其特征在于，所述热退火炉管进一步包括设置在所述导管上的气动阀。

8.如权利要求6所述的热退火炉管，其特征在于，所述导热孔间隔分布在所述热退火炉管之加热器的上端、中端，以及下端。

9.一种如权利要求4所述的热退火炉管的冷却方法，其特征在于，所述方法包括步骤：

步骤S1：在所述热退火炉管外侧间隔设置导热孔和导管；

步骤S2：将所述冷却系统中的冷却气体通过所述第一鼓风机经过冷却介质传输装置输送至所述热退火炉管内部，并对所述加热器和工艺腔室进行冷却降温；

步骤S3：采用冷却系统中的热交换器对反应后高温气体进行冷却降温。