[发明专利]旋转中心测定装置及方法有效
申请号: | 201210138205.7 | 申请日: | 2012-05-04 |
公开(公告)号: | CN102679921A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 林晓瑜;赵开乾;程奥博;何虎 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00;G01B21/24 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 陆花 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 旋转 中心 测定 装置 方法 | ||
1.一种旋转中心测定装置,其特征在于,包括主体、电源系统、数据传输系统、控制系统以及至少两个角加速度传感器,所述目标固定于所述主体上且二者同心,所述主体固定于所述旋转台上,所述电源系统、数据传输系统以及角加速度传感器分别设于所述主体上,所述电源系统连接所述角加速度传感器,为所述角加速度传感器供电,所述控制系统通过所述数据传输系统与所述角加速度传感器连接,所述角加速度传感器测得的一组角加速度值通过数据传输系统传送至所述控制系统,所述控制系统根据该组角度加速度值、旋转台的角速度以及各角加速度传感器所处的位置计算出所述目标的实际中心相对于所述旋转台的旋转中心的偏差以进行补偿。
2.如权利要求1所述的旋转中心测定装置,其特征在于,所述电源系统、数据传输系统以及角加速度传感器分别嵌入式设于所述主体上。
3.如权利要求1所述的旋转中心测定装置,其特征在于,所述角加速度传感器分别设于所述主体的两条相互垂直的十字中心线上。
4.如权利要求1所述的旋转中心测定装置,其特征在于,所述电源系统包括电源以及电源线,所述电源通过电源线为所述角加速度传感器供电。
5.如权利要求4所述的旋转中心测定装置,其特征在于,所述电源为锂电池。
6.如权利要求1所述的旋转中心测定装置,其特征在于,所述数据传输系统包括存储器、蓝牙设备以及数据线,所述数据线连接所述存储器和所述角加速度传感器,所述蓝牙设备将所述存储器中的所述角加速度传感器测得的数据传送至所述控制系统。
7.如权利要求1所述的旋转中心测定装置,其特征在于,所述主体采用能够被真空吸附的材料。
8.如权利要求1所述的旋转中心测定装置,其特征在于,所述主体的边缘设有一凹槽。
9.一种旋转中心测定方法,采用如权利要求1~8中任意一项所述的旋转中心测定装置,其特征在于,所述旋转台以角速度ω0旋转,所述至少两个角加速度传感器测得一组角加速度值a,根据所述角速度ω0、一组角加速度值a以及各角加速度传感器所处的位置,计算出所述目标的实际中心相对于所述旋转台的旋转中心的偏差。
10.如权利要求9所述的旋转中心测定方法,其特征在于,根据所述旋转台角速度ω0以及所述角加速度值a,利用公式:ω0·r2=a,计算出各角加速度传感器与所述旋转台的旋转中心之间的距离r;再根据已经求得的各角加速度传感器与所述旋转台的旋转中心之间的距离r以及各角加速度传感器所处的位置利用勾股定理得到所述目标的实际中心相对于所述旋转台的旋转中心的偏差。
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