[发明专利]真空感应加热生长宝石晶体的方法和实现该方法的设备

权利要求书

1.一种真空感应加热生长蓝宝石晶体的方法，其特点在于：在感应加热提拉法生长晶体的基础上，通过感应钨、钼或钨钼合金加热体的方式加热，加热坩埚内氧化铝原料至熔化后，观察熔体对流情况和液流线速度，通过调节钨、钼或者钨钼合金加热体与坩埚相对位置关系选择合适的下种温度，经过下种、放肩、等径生长以及晶体与坩埚脱离过程，完成晶体生长。

2.根据权利要求1所述的真空感应加热生长蓝宝石晶体的方法，其特征在于晶体生长过程中真空压力不大于6×10^-3Pa。

3.根据权利要求1或2所述的真空感应加热生长蓝宝石晶体的方法，其特征在于：生长过程以缓慢提拉法的方式生长晶体，提拉拉速在0.05-0.6mm/h范围。

4.根据权利要求1至3所述任一项的真空感应加热生长蓝宝石晶体的方法，其特征在于：晶体生长过程降温速率为5-500瓦/小时，生长结束后降温速率为100-2000瓦/小时。

5.一种用于实现权力要求1所述真空感应加热生长蓝宝石晶体方法的设备，包括石墨毡（4）作为保温层，钨、钼或钨钼合金坩埚（13），其特征在于所述真空感应加热生长蓝宝石晶体方法的设备还包括感应钨、钼或钨钼合金加热体（7），感应钨、钼或钨钼合金加热体（7）与钨、钼或钨钼合金坩埚（13）之间有可调节的间隙，可调节感应钨、钼或钨钼合金加热体（7）与钨、钼或钨钼合金坩埚（13）之间相对位置关系。

6.根据权利要求5所述的实现权利要求1的真空感应加热生长蓝宝石晶体的设备，其特征在于：感应钨、钼或钨钼合金加热体（7）外层使用氧化锆桶（6）作为保温层，氧化锆桶（6）外层使用石墨毡（4）包裹。

7.根据权利要求5所述的实现权利要求1的真空感应加热生长蓝宝石晶体的设备，其特征在于：在钨、钼或钨钼合金坩埚（13）上方里层采用氧化锆保温罩（9）作为保温层，外层使用石墨毡（4）包裹作为保温层。