[发明专利]压电驱动器及其制作方法

权利要求书

1.一种压电驱动器，其特征在于，包括：

圆环形结构的压电板，所述压电板的上表面设置有上电极，所述压电板的下表面设置有下电极，且所述压电板沿径向方向极化。

2.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述压电板为由压电陶瓷材料制备得到的压电板。

3.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述压电板为由压电单晶材料制备得到的压电板。

4.一种压电驱动器的制作方法，其特征在于，包括：

将压电材料制备成圆环形结构的压电板；

在所述压电板的内壁和外壁上分别设置电极，并对所述压电板进行极化，使得所述压电板沿径向方向极化；

在极化后的所述压电板的上表面设置上电极，在所述压电板的下表面设置下电极。

5.根据权利要求4所述的压电驱动器制作方法，其特征在于，所述压电材料为压电陶瓷材料；

所述将压电材料制备成圆环形结构的压电板包括：

利用固相反应法制备压电陶瓷固溶体粉末，并进行造粒，压片压制得到压电圆环片，得到圆环形结构的压电板，或者，先压制得到压电圆片，再在所述压电圆片的几何中心处打孔，形成圆环形结构的压电板；

在900～1200℃温度范围对所述圆环形结构的压电板进行烧结。

6.根据权利要求4所述的压电驱动器的制作方法，其特征在于，所述压电材料为压电单晶；

所述将压电材料制备成圆环形结构的压电板包括：

通过线切割将压电单晶切割成结晶取向一致的压电单晶板材；

通过超声或激光切割，将所述压电单晶板材的几何外形变为圆环形结构的压电板。

7.根据权利要求4或5或6所述的压电驱动器的制作方法，其特征在于，所述在极化后的所述压电板的上表面设置上电极，在所述压电板的下表面设置下电极之前还包括：

利用砂纸打磨掉所述压电板的内壁和外壁上的电极。