[发明专利]微型固态化学推进器的制备方法无效
申请号: | 201210139073.X | 申请日: | 2012-05-06 |
公开(公告)号: | CN102701139A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 苑伟政;申强;郝永存;张和民;谢建兵 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;B81C3/00 |
代理公司: | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人: | 吕湘连 |
地址: | 710072 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微型 固态 化学 推进器 制备 方法 | ||
1.微型固态化学推进器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
第一步,对普通硅片(1)进行清洗;再在硅表面涂光刻胶(2)、光刻、显影、ICP刻蚀得到下导线槽(16)和上导线槽(3);
第二步,去除光刻胶,清洗硅片表面,溅射金属铝(4)再在铝表面旋涂光刻胶,光刻,显影,利用湿法腐蚀除去曝光区域的铝膜,接着DRIE同时得到燃烧室(5)和喷嘴(15);
第三步,去除剩余的铝膜,干法氧化硅片,采用氢氟酸溶液清洗氧化膜,得到光洁的燃烧室(5)和喷嘴(15);
第四步,清洗玻璃片(7),在玻璃片表面涂光刻胶(2)、光刻、显影得到点火器(18)、上点火导线(10)、下点火导线(11)、上焊盘(12)和下焊盘(13)的图形,在涂有光刻胶的玻璃片表面溅射金属(8);
第五步,剥离光刻胶,得到点火器(18),在金属膜(8)的玻璃片上涂光刻胶(2)、光刻、显影得到点火导线区和焊盘区的图形,在涂有光刻胶(2)的玻璃片(7)表面溅射金属薄膜(9),再去除光刻胶,得到金属导线以及金属焊盘;
第六步,将具有燃烧室和喷嘴结构的硅片和具有点火电路的玻璃片利用键合工艺连接,得到微型固态化学推进器。
2.一种如权利要求1所述微型固态化学推进器的制备方法,其特征在于,所述第四步中金属膜(8)为熔点大于1500℃的金属材料。
3.一种如权利要求1所述微型固态化学推进器的制备方法,其特征在于,所述第五步中金属薄膜(9)的材料为铜、铂或金。
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