[发明专利]摇动质量块压电双轴微陀螺

权利要求书

1.一种压电驱动压电检测双轴微陀螺仪，其特征在于包括：

一个具有摇动质量块的谐振子，通过基板支撑；

四个与基板边平行的驱动电极；以及

四个与基板边平行的检测电极；

所述摇动质量块的材料为金属，基板的材料为PZT压电材料。

2.根据权利要求1所述的压电驱动压电检测双轴微陀螺仪，其特征是：所述摇动质量块振子为长方体，基板为等边薄板，摇动质量块在基板正中处。

3.根据权利要求1所述的压电驱动压电检测双轴微陀螺仪，其特征是：所述基板为正方形，四边固定，其余部分不施加限制。

4.根据权利要求1所述的压电驱动压电检测双轴微陀螺仪，其特征是：所述四个驱动电极和四个与检测电极分别沿基板四边的方向配置，且与摇动质量块之间有间隙，每个驱动电极外侧是与基板边平行的检测电极，驱动电极和检测电极都固定在基板上。

5.根据权利要求4所述的压电驱动压电检测双轴微陀螺仪，其特征是：所述四个驱动电极材料为金属，形状为长方形，分别沿正方形基板边缘平行布置，在检测电极的内侧且两者之间存在间隙，用于激励摇动质量块工作在驱动模态。

6.根据权利要求4所述的压电驱动压电检测双轴微陀螺仪，其特征是：所述四个检测电极材料为金属，形状为长方形，分别沿正方形基板边缘平行布置，在驱动电极的外侧并且两者之间存在间隙，用于检测摇动质量块在检测模态振型的振动，从而检测外界输入角速度的大小。

7.根据权利要求1-5任一项所述的压电驱动压电检测双轴微陀螺仪，其特征是：所述摇动质量块沿基板X方向或Y方向进行特殊振动模态振动，利用该运动分别检测基板Y方向或X方向的输入角速度；所述摇动质量块X方向和Y方向驱动电压的相位相差90°，使得科氏效应产生的X方向和Y方向的科氏力相位相差90°，基板对X轴和Y轴的输入角速度敏感变形相位相差为90°；经外围调解电路的处理，提取到沿基板X轴方向和Y轴方向的输入角速度。