[发明专利]一种回收利用洗涤塔排放液中氯硅烷的方法及其专用装置

权利要求书

1.一种回收利用洗涤塔排放液中氯硅烷化合物的方法，其特征在于：是将从洗涤塔底部排放的废液间歇式的通入汽化器中，并加热将氯硅烷化合物汽化后冷凝分离，回收。

2.根据权利要求1所述的回收利用洗涤塔排放液中氯硅烷化合物的方法，其特征在于：所述洗涤塔底部排放的废液包括有金属氯化物、聚合物、高沸物和氯硅烷化合物。

3.根据权利要求2所述的回收利用洗涤塔排放液中氯硅烷化合物的方法，其特征在于：

所述金属氯化物为氯化铝和/或氯化钙；

所述聚合物为三氯化磷的聚合物和/或三氯化硼的聚合物；

所述高沸物为氯化铝、氯化铁和/或氯化钙；

所述氯硅烷化合物为三氯氢硅和/或四氯化硅。

4.根据权利要求3所述的回收利用洗涤塔排放液中氯硅烷化合物的方法，其特征在于：所述汽化器的加热温度为60-120℃，压力为0.05-0.15MPa；所述冷凝分离是通过预冷器和深冷器进行冷却。

5.根据权利要求4所述的回收利用洗涤塔排放液中氯硅烷化合物的方法，其特征在于：

所述汽化器的加热温度为100℃，压力为0.1MPa。

6.一种回收利用洗涤塔排放液中氯硅烷化合物的专用设备，其特征在于：包括有汽化器、预冷器、深冷器和再沸器；所述汽化器中部设置有洗涤塔废液进口；所述汽化器顶部设置有汽化气出口；所述汽化气出口与预冷器的进气口连通；所述预冷器上设置有预冷器不凝气出口；所述预冷器不凝气出口与深冷器进气口连通；所述预冷器和深冷器的底部均设置有冷凝液出口；所述冷凝液出口与合成料储罐连通；所述深冷器上设置有深冷器不凝气出口；所述汽化器底部设置有残液排放口；所述残液排放口和深冷器不凝气出口均与去尾气处理系统连通；所述预冷器通过设置在预冷器上的循环上水管线和循环回水管线进行预冷；所述深冷器通过设置在深冷器上的-35℃冷冻盐水上水管线和-35℃冷冻盐水回水管线进行深冷；所述汽化器上设置有再沸器蒸汽进气管路和再沸器蒸汽出气管路。