[发明专利]磁力显微镜用悬臂及其制造方法无效
| 申请号： | 201210140453.5 | 申请日： | 2012-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN102778589A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 张开锋;广濑丈师;渡边正浩;松井哲也;中込恒夫;德富照明 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01Q60/54 | 分类号： | G01Q60/54 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;李家浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁力 显微镜 悬臂 及其 制造 方法 | ||
1.一种磁力显微镜用悬臂，用于磁力显微镜的测定，其特征在于，
具备：附加在上述磁力显微镜用悬臂的前端的探针上的磁性膜；以及
附加于上述探针的周围的非磁性硬质保护膜。
2.根据权利要求1所述的磁力显微镜用悬臂，其特征在于，
上述磁性膜附加在上述探针的一侧。
3.根据权利要求1所述的磁力显微镜用悬臂，其特征在于，
根据上述磁性膜的形状来决定利用上述磁力显微镜用悬臂测定磁场时的空间分辨率。
4.根据权利要求1所述的磁力显微镜用悬臂，其特征在于，
上述磁性膜是Ni、NiFe、CoFe的软磁性材料、或Co、Al-Ni-C、Fe-Pt的硬磁性材料。
5.根据权利要求1所述的磁力显微镜用悬臂，其特征在于，
上述非磁性硬质保护膜是DLC、TiN、TiC、TiCN、CrNCN、或贵金属膜。
6.一种磁力显微镜用悬臂，用于磁力显微镜的测定，其特征在于，
具备：附加在上述磁力显微镜用悬臂的前端的探针上的磁性膜；以及
附加于上述探针的周围的软磁性体氧化防止保护膜。
7.一种磁力显微镜用悬臂的制造方法，该磁力显微镜用悬臂用于磁力显微镜的测定，该磁力显微镜用悬臂的制造方法的特征在于，
在上述磁力显微镜用悬臂的前端的探针上形成磁性膜，在上述探针的周围形成非磁性硬质保护膜。
8.根据权利要求7所述的磁力显微镜用悬臂的制造方法，其特征在于，
当在上述磁力显微镜用悬臂的探针的周围形成上述非磁性硬质保护膜时，从上述磁力显微镜用悬臂的上述探针的正面以角度15°-45°来形成上述非磁性硬质保护膜，从上述磁力显微镜用悬臂的上述探针的背面在角度15°-30°的范围内从两个方向形成上述非磁性硬质保护膜。
9.一种磁力显微镜用悬臂的制造方法，该磁力显微镜用悬臂用于磁力显微镜的测定，该磁力显微镜用悬臂的制造方法的特征在于，
上述磁力显微镜用悬臂的前端的探针是CNF探针或CNT探针，
当在上述CNF探针或上述CNT探针上形成磁性膜时，上述磁性膜的成膜靶和上述CNF探针或上述CNT探针之间的距离较长，当在上述CNF探针或上述CNT探针的周围形成非磁性硬质保护膜时，上述非磁性硬质保护膜的成膜靶和上述CNF探针或上述CNT探针之间的距离较短。
10.根据权利要求9所述的磁力显微镜用悬臂的制造方法，其特征在于，
当在上述CNF探针或上述CNT探针的周围形成上述非磁性硬质保护膜时，一定时间内在上述CNF探针或上述CNT探针的前端部分设置遮蔽物。
11.根据权利要求9所述的磁力显微镜用悬臂的制造方法，其特征在于，
当在上述CNF探针或上述CNT探针的周围形成上述非磁性硬质保护膜时，在形成上述非磁性硬质保护膜前，在上述CNF探针或上述CNT探针的前端部分附着与其直径大致相同或稍大的微粒子，之后，使上述磁力显微镜用悬臂以上述CNF探针或上述CNT探针为轴进行旋转，从斜下方形成上述非磁性硬质保护膜，除去上述微粒子后，再从底面形成上述非磁性硬质保护膜。
12.一种磁力显微镜用悬臂的制造方法，该磁力显微镜用悬臂用于磁力显微镜的测定，该磁力显微镜用悬臂的制造方法的特征在于，
在上述磁力显微镜用悬臂的前端的探针上形成磁性膜，在上述探针的周围形成软磁性体氧化防止保护膜。
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