[发明专利]用于电子加速器束流强度实时监测的装置在审
| 申请号： | 201210140602.8 | 申请日： | 2012-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN103389508A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 吾勤之;宣明;郭旗;刘伟鑫;王昆黍;乔文;陈友;徐导进;蔡楠;王海涛 | 申请（专利权）人： | 上海精密计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 上海航天局专利中心 31107 | 代理人： | 金家山 |
| 地址： | 201109 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 电子 加速器 强度 实时 监测 装置 | ||
1.一种用于电子加速器束流强度实时监测的装置，其特征在于，包括真空室，位于真空室内的准直器和探头，向所述探头提供高压的高压单元，以及收集所述探头所产生次级电子的束流强度显示系统。
2.根据权利要求1所述的用于电子加速器束流强度实时监测的装置，其特征在于，所述真空室的真空度至少应达到1×10-2Pa。
3.根据权利要求1所述的用于电子加速器束流强度实时监测的装置，其特征在于，所述探头包括：至少两个骨架，贯穿所述骨架的开口，覆盖所述开口的金属箔，与所述金属箔电连接的导线。
4.根据权利要求3所述的用于电子加速器束流强度实时监测的装置，其特征在于，所述骨架的材料是陶瓷，所述骨架的形状是环形。
5.根据权利要求3所述的用于电子加速器束流强度实时监测的装置，其特征在于：所述金属箔的材料是铝，所述金属箔的厚度小于5μm；所述导线的材料为铜。
6. 根据权利要求5所述的用于电子加速器束流强度实时监测的装置，其特征在于，所述的金属铝箔通过导电胶与铜导线电连接。
7.根据权利要求3所述的用于电子加速器束流强度实时监测的装置，其特征在于，所述骨架具有上、下槽，所述导线位于上槽引线槽内，所述下槽为导流槽。
8.根据权利要求3所述的用于电子加速器束流强度实时监测的装置，其特征在于：所述骨架的层数为6至20层； 骨架的厚度为1mm～2mm。
9.根据权利要求3所述的用于电子加速器束流强度实时监测的装置，其特征在于，所述各层骨架由螺栓串连，所述骨架上的螺栓均至少为3个。
10.根据权利要求1所述的用于电子加速器束流强度实时监测的装置，其特征在于，所述的高压单元提供的高压为100V～300V。
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