[发明专利]长距离柔性传送网带自动校正设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种长距离柔性传送网带自动校正设备。

背景技术

目前常用的网带包括金属网带和、Teflon网带：

1、金属网带，这种网带不易变形，故在传输过程中不易偏移，但是会造成金属污染，在硅片生产中影响电池片的电性性能，并且对于硅片的后加工造成困难。

2、Teflon网带是柔性材质，距离越长，转动时越易偏移，现有的Teflon网带式的烘箱，其有效传送距离为2.5米，如果传送距离大于2.5米，将会出现Teflon网带偏移。

硅片或LCD面板在长距离传输过程中，为防止金属污染，将原金属网带换成柔性材质，如Teflon网带，但由于Teflon网带是柔性材质，在长距离传输时容易导致网带在旋转轴上偏移。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种长距离柔性传送网带自动校正设备，在网带发生偏移时自行校正。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种长距离柔性传送网带自动校正设备，包括网带位置偏移检测装置和网带位置调整装置，所述的网带位置调整装置包括机架、滚轮压紧机构、滚轮架驱动机构、滚轮架、上、下滚轮和滑轨，所述的上、下滚轮安装在滚轮架上自由滚动，滚轮架通过滑轨安装在机架上，滚轮架驱动机构安装在机架上，驱动滚轮架沿滑轨左右滑移，在滚轮架上安装滚轮压紧机构，滚轮压紧机构推动上、下滚轮夹紧或分开；网带位置偏移检测装置设置在网带上方检测网带是否偏移以及偏移方向，网带穿入网带位置调整装置的上、下滚轮之间；当网带位置偏移检测装置检测到网带偏移时，滚轮压紧机构推动上、下滚轮夹紧网带，滚轮架驱动机构驱动滚轮架沿滑轨向网带偏移的相反方向滑移，当网带位置偏移检测装置检测到网带恢复至正常位置时，滚轮压紧机构推动上、下滚轮分开，释放网带，滚轮架驱动机构驱动滚轮架沿滑轨复位。

网带位置偏移检测装置由多个设置在网带上方不同位置光纤传感器构成。

光纤传感器由四个，其中两个位于网带正常位置的两侧，另外两个位于偏离网带正常位置的上方和下方。

滚轮压紧机构包括气缸，气缸安装在滚轮架，上、下滚轮中其中一个在滚轮架上的位置固定，另一个与气缸驱动连接，通过气缸推动上下滑移。

滚轮架驱动机构包括驱动马达和丝杠机构，驱动马达通过丝杠机构驱动滚轮架沿滑轨左右滑移。

本发明的有益效果是：在网带发生偏移时自行校正，实现柔性网带的长距离传输。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的网带位置调整装置的结构示意图；

图2是本发明的整体结构示意图；

图3是本发明的网带位置偏移检测装置的结构示意图；

图中：1.机架，2.滚轮架，3.上滚轮，4.下滚轮，5.滑轨，6.网带，7.光纤传感器，8.气缸，9.驱动马达，10.丝杠机构，11.传送辊。

具体实施方式

硅片生产的新工艺中，需要使用烘箱长度为5米。为防止金属污染，采用非金属柔性网带，因为其材质较软，并且烘箱长度大于2.5米，在运转的过程中网带经常发生偏移。

如图1和2所示，在该烘箱的网带传送机构中采用本发明的长距离柔性传送网带自动校正设备，其包括网带位置偏移检测装置和网带位置调整装置。

网带位置调整装置包括机架1、滚轮压紧机构、滚轮架驱动机构、滚轮架2、上、下滚轮3、4和滑轨5，所述的上、下滚轮3、4安装在滚轮架2上自由滚动，滚轮架2通过滑轨5安装在机架1上，滚轮架驱动机构安装在机架1上，驱动滚轮架2沿滑轨5左右滑移，在滚轮架2上安装滚轮压紧机构，滚轮压紧机构推动上、下滚轮3、4夹紧或分开。滚轮压紧机构包括气缸8，气缸8安装在滚轮架2，上、下滚轮3、4中其中一个在滚轮架2上的位置固定，另一个与气缸8驱动连接，通过气缸8推动上下滑移。滚轮架驱动机构包括驱动马达9和丝杠机构10，驱动马达9通过丝杠机构10驱动滚轮架2沿滑轨5左右滑移。

如图3所示，网带位置偏移检测装置设置在网带6上方检测网带6是否偏移以及偏移方向，网带位置偏移检测装置由多个设置在网带上方不同位置光纤传感器7构成。光纤传感器7由四个，其中两个位于网带正常位置的两侧，另外两个位于偏离网带正常位置的上方和下方。光纤传感器7采用Keyence FS-N10传感器，通过其光纤探头可以侦测感应到不同反射的光线值。因网带及传送辊11颜色不同，因此可以通过对Keyence FS-N10传感器进行设置，实现网带位置检测。