[发明专利]具有上转换功能的氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种具有上转换功能的氧化锌基透明导电薄膜，其特征是：以ZnO为基体材料，在ZnO基体材料中掺杂Al³⁺、Yb³⁺、Er³⁺、Tm³⁺元素中的一种、两种或两种以上,控制Zn与所掺杂元素的原子摩尔比为10：1~100：1。

2.一种权利要求1所述的具有上转换功能的氧化锌基透明导电薄膜的制备方法,其特征是：将ZnO与Al₂O₃、Yb₂O₃、Er₂O₃、Tm₂O₃中的一种、两种或两种以上进行配制并制备溅射用陶瓷靶材，在溅射设备中溅射制得ZnO基透明导电薄膜。

3.权利要求2所述的具有上转换功能的氧化锌基透明导电薄膜的制备方法,其特征是：控制Zn与所掺杂金属离子的原子摩尔比为10：1~100：1。

4.权利要求2或3所述的具有上转换功能的氧化锌基透明导电薄膜的制备方法,其特征是：具体步骤为：

1)配制并制备溅射用陶瓷靶材；

2)将陶瓷靶材放入溅射仪的真空室中；

3)抽真空，使真空室的本底真空度<2.0×10^-4Pa；

4)然后充入保护气体，流量为10~50sccm，控制真空泵抽气阀门，使真空室真空度保持在1.0~9.0×10^-2Pa范围内；

5)开始溅射时，先预溅射3~20分钟；

6)溅射时溅射压强为1.0×10^-1Pa~8.0Pa，控制溅射功率和溅射时间使制备的薄膜厚度控制在200nm~1200nm。