[发明专利]一种节能型多晶硅还原炉的底盘及其实施方法

权利要求书

1.一种节能型多晶硅还原炉底盘，其特征是在多晶硅还原炉底盘上方固定一气盒（16），气盒的外形为圆桶，气盒的顶部开有均匀的孔（5），孔的形状为圆形或者矩形；气盒的材料为不锈钢，气盒的外径比多晶硅还原炉内胆直径小10-200mm，气盒16的高度为5-20cm，气盒的壁厚为0.5-5cm，气盒通过螺栓固定在底盘上。

2.一种节能型多晶硅还原炉的新型底盘及其实施方法，其特征是多晶硅还原炉内胆侧壁上留下的高纯三氯氢硅液体的高度超过还原炉底盘上方气盒的高度，高纯三氯氢硅液体将气盒覆盖；气盒内液态三氯氢硅受热形成三氯氢硅气体，气体通过气盒顶部的开孔进入多晶硅还原炉反应区域。

3.如权利要求2所述的实施方法，其特征是在多晶硅还原炉底盘上安装排液管（12），使得还原炉内的液位不超过硅芯石墨夹套（8）的位置。

4.如权利要求2所述的实施方法，其特征是还原炉底盘下方通入高纯三氯氢硅气体进入气盒。