[发明专利]一种节能型多晶硅还原炉的内胆双层结构及其实施方法

权利要求书

1.一种节能型多晶硅还原炉的内胆双层结构，其特征是多晶硅还原炉内胆包括内壁（20）和外壁（21）两层结构，内壁（20）和外壁（21）之间的空隙与内胆顶部底板（22）与顶板（23）之间的区域相连通，在内壁（20）和顶部底板（22）连接以及外壁（21）和顶部顶板（23）连接的位置连通，内壁（20）与外壁（21）之间空隙的宽度为5mm-50mm，底板（22）和顶板（23）的间距为100mm-300mm。

2.如权利要求1所述的内胆双层结构，其特征是多晶硅还原炉内胆顶部的底板与内胆的内壁固定连接，内胆顶部的顶板与内胆的外壁固定连接，连接方式采用螺栓固定。

3.一种节能型多晶硅还原炉的内胆双层结构及其实施方法，其特征是多晶硅还原炉内胆的内壁与外壁之间通入高纯三氯氢硅液体，由于还原炉内的大量热量辐射到内胆的侧面，液态三氯氢硅受热挥发，挥发产生的气体流入内胆顶部底板与顶板之间的区域。

4.一种节能型多晶硅还原炉的内胆双层结构及其实施方法，其特征如生产中需要可以在内胆的内壁与外壁的空隙内安装温度探头。