[发明专利]一种聚碳酸酯光波导材料及其制备方法

权利要求书

1. 一种聚碳酸酯光波导材料，其特征在于：该光波导材料由双酚芴聚合或由两种单体，即双酚A和双酚芴共聚得到，

其中，双酚A和双酚芴的摩尔比在2.4：1至1：2.4之间。

2. 一种聚碳酸酯光波导材料的制备方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

步骤1：将双酚A和双酚芴两单体溶解在氢氧化钠的水溶液中，配成两单体钠盐的饱和溶液，加入催化剂三乙胺后，在机械搅拌下向混合溶液中滴加三光气的二氯甲烷溶液，滴加完毕后再继续反应20分钟，停止搅拌，溶液分层；

步骤2：将上述溶液分离出有机层，有机相经3%盐酸洗涤后，再用去离子水洗涤至中性，用AgNO₃溶液鉴定无Cl^-离子后，将有机相倒入无水甲醇中沉淀，得到凝胶状聚合物；过滤，用蒸馏水洗涤，在70℃下真空干燥，冷却后得到共聚碳酸酯；

步骤3：将聚碳酸酯溶解在邻二氯苯中，配成浓度为2-4g/mL的聚碳酸酯邻二氯苯溶液；分别经过0.4μm和0.2μm的聚四氟乙烯过滤器过滤，采用玻璃片作为基片衬底，将经清洗干燥后洁净的玻璃片吸附在匀胶机的匀胶吸盘中央，然后把聚碳酸酯邻二氯苯溶液滴加到基片中央，并使其覆盖玻璃片的大部分表面，然后悬涂成膜，其中在500r/s速度下预甩，再在2000r/s工作转速下30s；成膜厚度受匀胶机旋转速度与聚碳酸酯溶液浓度影响，转速越高，薄膜越薄，同样，聚碳酸酯溶液浓度越低，薄膜越薄；成膜后先在烘胶台上50-80℃进行软考，然后放入真空干燥箱程序升温到115℃～125℃烘焙除去剩余溶剂；

步骤4：在固化后的碳酸酯薄膜上再旋涂一层光刻胶，烘干后，加掩膜板进行掩膜，光刻，显影，再经过反应离子刻蚀工艺刻蚀，去除剩余光刻胶，最后形成聚碳酸酯光波导材料。