[发明专利]一种石墨舟自动装卸片升降传递装置

权利要求书

1.一种石墨舟自动装卸片升降传递装置，包括竖直放置的框架（1）和用于暂存硅片的中转片盒（10），其特征是，所述框架（1）正面安装可带动片盒（5）上下滑动的片盒升降机构（2），所述框架（1）的一侧设有可带动中转片盒（10）上下滑动的硅片中转机构（7），并在硅片中转机构（7）的一侧设有可在片盒升降机构（2）和硅片中转机构（7）中水平传递片盒的硅片传递机构（8）；所述片盒升降机构（2）、硅片中转机构（7）和硅片传递机构（8）构成第一组升降传递装置，并在框架（1）的背面安装与第一组升降传递装置对称的第二组升降传递装置；所述各组升降传递装置中的片盒升降机构（2）、硅片中转机构（7）和硅片传递机构（8）的硅片中心位一致。

2.根据权利要求1所述石墨舟自动装卸片升降传递装置，其特征是，所述片盒升降机构包括由电机（12）驱动的输送机（3）、检测片盒（5）位置的A光电开关、支撑底板、升降气缸（4）和用于固定片盒（5）的定位气缸（6），所述A光电开关安装在片盒（5）的下挡框上，支撑底板位于片盒（5）底部并在升降气缸（4）的作用下推动片盒（5）升降，升降气缸（4）和定位气缸（6）分别置于片盒（5）的底部和顶部。

3.根据权利要求1所述石墨舟自动装卸片升降传递装置，其特征是，所述硅片中转机构包括由电机（11）驱动的上下来回传动的传送带、中转片盒（10）和检测硅片到位的B光电开关，所述传送带与中转片盒（10）通过齿形板直接相连，在电机（11）的驱动下中转片盒（10）上下来回移动，B光电开关安装在中转片盒（10）上板或下板边缘。

4.根据权利要求1所述石墨舟自动装卸片升降传递装置，其特征是，所述硅片传递机构包括电动滑台（9）、支架和若干个吸盘，所述电动滑台（9）通过支架固定，电动滑台（9）上的取片板可在片盒升降机构（2）的片盒（5）与硅片中转机构（7）的中转片盒（10）之间水平来回滑动，所述吸盘成三角布局安装于取片板靠近片盒的一侧。