[发明专利]整理盘、研磨垫整理器及研磨装置

权利要求书

1.一种整理盘，包括整理盘本体，其特征在于，还包括一中心齿轮、三个研磨盘以及三个小齿轮，所述整理盘本体具有一内齿圈，所述中心齿轮位于所述内齿圈内并和所述内齿圈同心设置，所述三个小齿轮均匀分布于所述中心齿轮和所述内齿圈组成的区域内，且所述三个小齿轮分别与所述中心齿轮和所述内齿圈啮合，所述研磨盘分别设置于对应的小齿轮的工作表面上。

2.根据权利要求1所述的整理盘，其特征在于，所述研磨盘的大小与所述小齿轮的大小相对应。

3.根据权利要求2所述的整理盘，其特征在于，所述研磨盘的直径范围是6~9厘米。

4.根据权利要求1所述的整理盘，其特征在于，所述内齿圈的内径是14~18厘米。

5.一种研磨垫整理器，其特征在于，包括驱动马达、驱动轴以及如权利要求1所述的整理盘，所述驱动轴的一端和所述驱动马达连接，所述驱动轴的另一端与所述整理盘的中心齿轮固定连接。

6.根据权利要求5所述的研磨垫整理器，其特征在于，所述研磨盘的大小与所述小齿轮的大小相对应。

7.根据权利要求6所述的研磨垫整理器，其特征在于，所述研磨盘的直径范围是6~9厘米。

8.根据权利要求5所述的研磨垫整理器，其特征在于，所述内齿圈的内径是14~18厘米。

9.根据权利要求5所述的研磨垫整理器，其特征在于，还包括一保护壳，所述保护壳套设于所述驱动轴的外侧。

10.一种研磨装置，包括研磨垫、研磨平台、研磨液供应管和研磨头，所述研磨垫铺设于所述研磨平台上，所述研磨头和所述研磨液供应管分别设置于所述研磨垫上，其特征在于，包括如权利按要求5~9中任意一项所述的研磨垫整理器，所述研磨垫整理器设置于所述研磨垫上。