[发明专利]一种直拉硅单晶的装料方法及其装置

权利要求书

1.一种直拉硅单晶的装料方法，其特征在于，包括以下具体实施步骤：

⑴装料前准备：将称好重量的多晶硅料和母合金、石英坩埚（2）、装料车（1）以及抽气泵移入100级洁净风淋室内；

⑵装料：在操作人员拆炉打扫热场的同时，另一组操作人员穿戴好洁净服具进入洁净风淋室，拆开石英坩埚（2）的外包装，把其放到装料车（1）上，再按工艺要求把多晶硅料和母合金装入石英坩埚（2）内；

⑶合盖、抽真空：用无尘布将石英坩埚（2）口擦拭干净后，将环形密封圈放在石英坩埚（2）口上，盖好石英坩埚盖（3），用抽气泵连接石英坩埚盖（3）上的气孔（5）抽真空，按装料重量抽至气压表（7）显示为-0.01~-0.1MPa后，关闭阀门（4），断开抽气泵与气孔（5）的连接；

⑷装入拉晶炉：将装料车（1）推到清扫完毕的拉晶炉边，用小型起吊设备勾住石英坩埚盖（3）上的吊环（6），吊起石英坩埚（2）并移到石墨坩埚上方，对准后慢慢将石英坩埚（2）放入石墨坩埚内；

⑸拆石英坩埚盖（3）、合炉：检查石英坩埚（2）放置正中、平稳后，打开阀门（4）使石英坩埚（2）内压强恢复到大气压强，移走石英坩埚盖（3），合炉完毕。

2.一种用于根据权利要求1所述装料方法的装置，包括石英坩埚（2），其特征在于，还包括装料车（1）、石英坩埚盖（3）和环形密封圈；所述石英坩埚（2）置于装料车（1）上，在装好多晶硅料和母合金后，将所述环形密封圈放在石英坩埚（2）口上，然后盖好石英坩埚盖（3），以便能连接抽气泵抽真空并吊装石英坩埚（2）。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装料车（1）为长方体结构并设有U形凹槽，所述U形凹槽弧度与所选用的石英坩埚（2）的弧度相适应，U形凹槽U形口的直径Φ1为500mm~1200mm；所述装料车（1）底部装有四个能转动的滑轮（8）；装料车（1）采用非金属材料制成。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述石英坩埚盖（3）直径与所选用的石英坩埚（2）的直径相适应，所述石英坩埚盖（3）上配有气压表（7）、带阀门（4）的气孔（5）及吊环（6），石英坩埚盖（3）采用不锈钢制成。

5.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述环形密封圈直径与所选用的石英坩埚（2）的直径相适应，所述环形密封圈内径Φ2为480mm~1180mm，外径Φ3为500mm~1200mm，环形密封圈采用橡胶制成。

6.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述非金属材料为木材、塑料和/或橡胶。