[发明专利]一种压电陶瓷抑振的XY精密运动平台

权利要求书

1.一种压电陶瓷抑振的XY精密运动平台，其特征在于，底板组件(1)包括底板(5)，在底板(5)上安装有X轴直线电机组件(2)、Y轴直线电机组件(3)、运动连接体组件(4)；其中，X轴直线电机组件(2)通过X轴直线电机安装座螺钉(14)安装在底板(5)的X轴安装平面上；Y轴直线电机组件(3)通过Y轴直线电机安装座螺钉(19)安装在底板(5)的Y轴安装平面上；X轴精密运动导轨(11)和Y轴精密运动导轨(28)均由固定轨和滑动轨组成；在运动连接体组件(4)中，X轴精密运动导轨(11)中的固定轨通过X轴精密运动导轨固定轨安装螺钉(10)安装在底板(5)的X轴导轨的安装平面上；

在底板组件(1)中，X轴光栅尺读数头角架(7)通过X轴光栅尺读数头角架安装螺钉(6)安装在底板(5)的X轴导轨的安装平面的外侧面；X轴光栅尺读数头(8)通过X轴光栅尺读数头安装螺钉(9)安装在X轴光栅尺读数头角架(7)的相应位置；

在X轴直线电机组件(2)中，X轴直线电机安装座(13)通过X轴直线电机安装座螺钉(14)安装在底板(5)的X轴安装平面上；X轴直线电机定子及壳体(17)通过定位镶嵌安装在X轴直线电机安装座(13)的安装平面上；X轴直线电机动子组件(16)安装在X轴直线电机定子及壳体(17)内；在X轴直线电机动子(16)的上、下表面上分别设有X轴动子压电陶瓷膜(15)；X轴直线电机动子(16)的外露端上开有连接X轴运动连接架(25)的连接孔；

在Y轴直线电机组件(3)中，Y轴直线电机安装座(18)通过Y轴直线电机安装座螺钉(19)安装在底板(5)的Y轴安装平面上；Y轴直线电机定子及壳体(22)通过定位镶嵌安装在Y轴直线电机安装座(18)的安装平面上；Y轴直线电机动子组件(21)安装在Y轴直线电机定子及壳体(22)内；在Y轴直线电机动子(21)的上、下表面上分别设有Y轴动子压电陶瓷膜(20)；Y轴直线电机动子(21)的外露端上开有连接Y轴运动连接架(30)的连接孔；

在运动连接体组件(4)中，X轴运动连接架(25)通过X轴方向连接螺钉(26)与X轴直线电机动子(16)相连接；X轴运动连接架(25)通过X轴精密运动导轨滑动轨安装螺钉(12)与X轴精密运动导轨(11)中的滑动轨相连接；通过Y轴精密运动导轨固定轨安装螺钉(29)将Y轴精密运动导轨(28)的固定轨安装在在X轴运动连接架(25)上相应的定位平面上；Y轴运动连接架(30)通过Y轴精密运动导轨滑动轨安装螺钉(27)与Y轴精密运动导轨(28)的滑动轨相连接；Y轴运动连接架(30)的连接端通过Y轴方向连接螺钉(31)与Y轴直线电机动子(21)相连接；Y轴光栅尺架(37)通过Y轴光栅尺架安装螺钉(36)安装在Y轴运动连接架(30)的侧面上；Y轴光栅尺读数头角架(34)通过Y轴光栅尺读数头角架安装螺钉(35)安装在X轴运动连接架(25)上侧靠外的平面上；Y轴光栅尺读数头(32)通过Y轴光栅尺读数头安装螺钉(33)安装在Y轴光栅尺读数头角架(34)的相应位置上。

2.如权利要求1所述的XY精密运动平台，其特征在于，除线圈和钢芯部分外，X轴直线电机动子组件(16)的其余部件由碳素纤维制成。

3.如权利要求1所述的XY精密运动平台，其特征在于，除线圈和钢芯部分外，Y轴直线电机动子组件(21)的其余部件由碳素纤维制成。

4.如权利要求1所述的XY精密运动平台，其特征在于，X轴动子压电陶瓷膜(15)预制在X轴直线电机动子(16)的上、下表面上，并且Y轴动子压电陶瓷膜(20)预制在Y轴直线电机动子(21)的上、下表面上。

5.如权利要求1所述的XY精密运动平台，其特征在于，X轴精密运动导轨(11)和Y轴精密运动导轨(28)分别有两组。

6.如权利要求1所述的XY精密运动平台，其特征在于，X轴直线电机组件(2)是普通直线电机，其动子只能沿X轴方向在一定范围内进行直线运动。

7.如权利要求6所述的XY精密运动平台，其特征在于，安装在底板组件(1)上的X轴直线电机组件(2)由X轴直线电机动子(16)提供驱动力，驱动X轴运动连接架(25)沿X方向进行运动。

8.如权利要求1所述的XY精密运动平台，其特征在于，Y轴直线电机组件(3)是自适应解耦式直线电机，其动子除沿Y轴方向在一定范围内进行直线运动外，还可以被动的在X轴方向在一定范围内进行任意的移动。