[发明专利]波导锁模激光器

权利要求书

1.波导锁模激光器，其特征在于：所述激光器包括半导体可饱和吸收反射镜、波导增益介质、波导光栅以及泵浦源，所述半导体可饱和吸收镜和波导光栅分别设在波导增益介质的两端，所述泵浦源设在波导光栅之上。

2.根据权利要求1所述的波导锁模激光器，其特征在于：所述波导增益介质包括掺稀土元素的激光玻璃或者激光晶体的固体材料。

3.根据权利要求2所述的波导锁模激光器，其特征在于：所述增益波导是飞秒加工系统中利用飞秒激光非线性诱导折射率变化，产生激光增益波导，飞秒激光经过狭缝系统进行光束整形和显微物镜聚焦在掺杂材料内部产生了折射率增加而形成的增益波导。

4.根据权利要求2所述的波导锁模激光器，其特征在于：所述增益波导可以是由离子注入方式、离子交换方式、光刻方式在激光介质内部或者表面制作的波导结构。

5.根据权利要求3所述的波导锁模激光器，其特征在于：所述波导光栅是在飞秒加工系统中在具有布儒斯特角的晶体基底上点对点制作的波导光栅，所述波导光栅对整个系统进行色散补偿。

6.根据权利要求1所述的波导锁模激光器，其特征在于：所述光栅是连接在增益波导上的啁啾光纤光栅，或者啁啾镜。

7.根据权利要求5所述的波导锁模激光器，其特征在于：所述半导体激光阵列包括半导体激光二极管载体、激光二极管，带狭缝的反射薄膜以及98％的高反射薄膜；所述半导体激光二极管载体是多个，所述激光二极管设置在半导体激光二极管载体内，与半导体激光二极管载体一一对应，所述多个半导体激光二极管载体设置在带狭缝的反射薄膜上。

8.根据权利要求2-6任一所述的波导锁模激光器，其特征在于：所述增益材料是掺镱、掺铒、掺钬、掺铥或掺钇的增益材料。

9.根据权利要求7所述的波导锁模激光器，其特征在于：所述增益波导直径是0.5微米-200微米，所述增益波导是单模波或多模波导。

10.根据权利要求8所述的波导锁模激光器，其特征在于：所述半导体可饱和吸收反射镜通过精密控制平台固定在增益介质的输出端或者在波导侧方距离一毫米以内的地方；所述可饱和吸收镜是半导体饱和吸收镜或碳纳米管。