[发明专利]有机EL元件的制造方法及其制造装置、有机EL元件

说明书

技术领域

本发明涉及一种构成为基材上形成具有电极层和有机层的有机EL膜并从上述有机层发射光的有机EL元件的制造方法及其制造装置、有机EL元件。

背景技术

近年来，有机EL(场致发光)元件作为使用于下一代的低消耗电力的发光显示装置的元件而受到关注。有机EL元件基本上具有有机层以及一对电极，该有机层包括由有机发光材料构成的发光层。上述有机EL元件因有机发光材料而得到各种颜色的发光，并且为自发光元件，因此作为电视机(TV)等显示器用途而受到关注。

这种有机EL元件由基材和有机EL膜构成，该有机EL膜以有机层夹在具有极性相互相反的电极的两个电极层夹持之间的方式构成(夹层结构)。夹在电极层之间的有机层被支承在基材上，在基材上依次层叠阳极层、有机层、阴极层，由此形成有机EL元件。

在这种有机EL元件的制造方法中，作为在形成于基材的阳极层上成膜(形成)有机层和阴极层的方法，通常可知真空蒸镀法、涂布法，但是，其中，由于尤其能够提高用于形成有机层的材料(有机层形成材料)的纯度，容易得到高寿命，因此主要使用真空蒸镀法。

在上述真空蒸镀法中，通过使用蒸镀装置对基材进行蒸镀来形成有机层和阴极层，其中，该蒸镀装置具备真空室以及与有机层和阴极层分别对应地配置在该真空室内的蒸镀源。具体地说，通过配置于各蒸镀源的加热部对有机层形成材料和阴极层形成材料进行加热而使其气化，从各蒸镀源喷出气化后的有机层形成材料和阴极层形成材料(气化材料)，在形成于基材的阳极层上蒸镀形成有机层，进一步在该有机层上蒸镀形成阴极层。

在上述真空蒸镀法中，采用所谓分批工艺(バッチプロセス)、辊式工艺(ロ一ルプロセス)。分批工艺是指针对每片形成有阳极层的基材将有机层和阴极层蒸镀在阳极层上的工艺。另外，辊式工艺是指以下工艺：连续地送出形成有阳极层并被卷绕成辊状的带状的基材，以进行旋转驱动的冷却辊(キヤンロ一ル)的表面支承所送出的基材并使所送出的基材随该旋转一起进行移动，并且在阳极层上连续地形成有机层和阴极层，将以这种方式形成了有机EL膜的基材卷绕成辊状。其中，从实现低成本化的观点出发，期望使用辊式工艺制造有机EL元件。

然而，在像这样真空蒸镀法中采用辊式工艺的情况下，在将形成有有机EL膜的基材卷绕成辊状来进行回收时，形成于基板上的有机EL膜与基材的没有形成有机EL膜的一面侧(非蒸镀面侧)产生摩擦。并且，基材的表面通常具有细微的凹凸，因此由于基材与有机EL膜产生摩擦而损伤有机EL膜，导致漏电、发光不良，进而成品率降低。

因此，提出了如下的一种技术：在卷绕回收形成有有机EL膜的基材时，使保护膜介于先被卷绕的基材上的有机EL膜与接着被卷绕的基材的非蒸镀面之间并且卷绕基材，由此防止损伤有机EL膜(参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2006-294536号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，仅单纯地使保护膜介于先被卷绕的基材上的有机EL膜与接着被卷绕的基材的非蒸镀面侧之间，保护膜被夹在上述有机EL膜与基材的非蒸镀面侧之间并且卷绕基材，由此保护膜有可能相对有机EL膜产生位置偏移。并且，由于上述位置偏移而保护膜与有机EL膜产生摩擦，因此尽管使保护膜介于上述有机EL膜与基材的非蒸镀面侧之间，但还是有损伤有机EL膜的可能。

在此，为了防止由上述位置偏移产生的有机EL膜的损伤，还考虑使用粘接剂在基材中的蒸镀面侧粘接保护膜。但是，在蒸镀面侧粘接保护膜的情况下，有可能粘接剂附着于有机EL膜，使有机EL膜损伤。

并且，即使使保护膜如上所述那样介于有机EL膜与非蒸镀面侧之间，在保护膜与有机EL膜之间也会因振动等产生细微摩擦，由此也可能发生有机EL膜损伤。

本发明是鉴于上述问题点而完成的，目的在于提供一种能够防止形成于基材上的有机EL膜损伤并且卷绕形成有该有机EL膜的基材的有机EL元件的制造方法及其制造装置、有机EL元件。

用于解决问题的方案

为了解决上述问题，本发明所涉及的有机EL元件的制造方法，提供带状的基材并且通过在该基材的一面侧至少依次蒸镀有机层和电极层来在上述基材上形成有机EL膜，将形成有上述有机EL膜的上述基材进行卷绕，由此制造有机EL元件，其中，该有机层包括发光层，该有机EL元件的制造方法的特征在于，在上述卷绕过程中，还提供比上述基材软的带状的保护膜，使上述保护膜粘接在上述基材的非蒸镀面侧并且将上述基材与上述保护膜一起进行卷绕。