[发明专利]一种微波匀胶装置及匀胶方法

权利要求书

1.一种微波匀胶装置，其特征在于：包括微波谐振腔、微波源、波导管、电机、真空泵和控制面板；所述微波源固定在所述控制面板的控制电路上，所述微波源通过所述波导管与所述微波谐振腔连接；所述微波谐振腔内设有真空吸盘，所述真空泵通过管路与所述真空吸盘的吸嘴相连，所述电机的输出轴与所述真空吸盘连接；所述微波谐振腔上端为拉门式封闭头，所述拉门式封闭头上设有光刻胶滴管。

2.如权利要求1所述的微波匀胶装置，其特征在于：所述控制面板上设有电机转速控制旋钮，所述电机转速控制旋钮用来控制所述电机的转速和加速度，所述电机的转速为100～8000rpm；所述控制面板上设有定时控制旋钮，所述定时控制旋钮用于控制待处理样品的匀胶定时和干燥定时；所述微波匀胶装置还包括温度控制装置和与其相连的温度显示装置，其中温度控制装置设置在所述控制面板的控制电路上，所述温度显示装置设置在所述微波谐振腔外部。

3.如权利要求1所述的微波匀胶装置，其特征在于：所述微波谐振腔内设有残胶圆盘，所述残胶圆盘设置在所述真空吸盘的下方；所述真空泵通过三通阀分别与所述真空吸盘的吸嘴和所述残胶圆盘的出口相连，所述三通阀与所述真空吸盘之间的管路上设有第一阀门，所述三通阀和所述残胶圆盘之间的管路上依次设有杜瓦瓶和第二阀门。

4.如权利要求1所述的微波匀胶装置，其特征在于：所述拉门式封闭头上设有有机溶液滴管和去离子水滴管。

5.如权利要求1所述的微波匀胶装置，其特征在于：所述微波谐振腔内的所述波导管的出口处设有云母片。

6.如权利要求1所述的微波匀胶装置，其特征在于：所述微波谐振腔内部上方设有黄色荧光灯。

7.如权利要求1所述的微波匀胶装置，其特征在于：所述拉门式封闭头的夹层中设有金属网。

8.一种微波匀胶方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）将待处理样品放置在微波谐振腔内的真空吸盘上，打开与所述真空吸盘的吸嘴相连的真空泵，使得所述真空吸盘将所述待处理样品吸附住，同时，设定微波干燥时间和干燥温度，并启动微波源对所述待处理样品进行预烘；

（2）通过光刻胶滴管将光刻胶滴在所述待处理样品表面，根据需求设定电机的转速和匀胶时间，所述真空吸盘在所述电机的带动下完成匀胶工艺；

（3）匀胶工艺完成后，设定电机的转速，然后通过控制微波干燥时间和干燥温度对所述待处理样品进行干燥工艺。

9.如权利要求8所述的微波匀胶方法，其特征在于，所述步骤（2）完成后，还包括如下步骤：查看所述待处理样品表面的光刻胶涂覆的效果，若涂覆不均匀或有气泡，可通过有机溶液滴管将有机溶液滴在所述待处理样品表面将光刻胶去除，然后再通过去离子水滴管滴入去离子水来清洗所述待处理样品表面，清洗完后重复所述步骤（2），对所述待处理样品进行匀胶工艺。

10.如权利要求8所述的微波匀胶方法，其特征在于，所述匀胶方法还包括如下步骤：当设置在所述真空吸盘下方的残胶圆盘中的残胶较多时，可向所述残胶圆盘中滴入有机溶剂将残胶溶解，然后通过所述真空泵的抽取将残胶排出所述残胶圆盘。