[发明专利]多晶硅回蚀溶液及其用途有效
| 申请号： | 201210149344.X | 申请日： | 2012-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN102677060A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 沈专;林佳继;黄路遥;戴燕华;朱琛;赵同荣 | 申请（专利权）人： | 韩华新能源（启东）有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/32 | 分类号： | C23F1/32 |
| 代理公司： | 南通市永通专利事务所 32100 | 代理人： | 葛雷 |
| 地址： | 226200 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 硅回蚀 溶液 及其 用途 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅回蚀溶液，其特征是：由下列体积百分比的成分混合组成：
氢氧化钠 0.03%~0.5%
次氯酸钠 0.02%~0.5%
硅酸钠 0.01%~0.5%
有机酸或有机醇 0.005%~0.1%
余量为水。
2.根据权利要求1所述的多晶硅回蚀溶液，其特征是：所述有机酸为乙酸、丙酸、丁酸、庚酸中的一种或几种；所述有机醇为乙醇、正丁醇中的一种或几种。
3.一种权利要求1所述的多晶硅回蚀溶液的用途，其特征是：将多晶硅片浸泡在多晶硅回蚀溶液中，回蚀处理的温度范围为25～60℃，回蚀处理的时间范围为30秒～300秒。
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