[发明专利]校准表面结构测量装置的方法

权利要求书

1.校准表面结构测量装置的方法，该装置具有：

具有以旋转轴作为支撑点在垂直方向上可摇摆地支撑的测量臂的检测器，向上的触针和向下的触针，每个触针都装备在该测量臂的端部并且在该测量臂的摇摆方向上伸出，以及检测该测量臂的摇摆量的检测单元；

承载被测物体的平台；以及

相对地移动该检测器和平台的相对移动驱动器，

该方法包括：

获取第一轴形状测量数据，通过：

当该向下的触针与参考球的上表面接触时在第一轴方向上相对地移动该检测器和平台以获取第一轴上部形状测量数据；以及

当该向上的触针与该参考球的下表面接触时在该第一轴方向上相对地移动该检测器和平台以获取第一轴下部形状测量数据；以及

基于从该第一轴上部形状测量数据获取的第一中心坐标和从该第一轴下部形状测量数据获取的第二中心坐标计算该向上的触针和向下的触针的偏移量。

2.根据权利要求1的校准表面结构测量装置的方法，其中所述获取该第一轴形状测量数据包括：通过在正交于该第一轴方向的第二轴方向上移动来获取多个该第一轴上部形状测量数据和多个该第一轴下部形状测量数据，以获取最大直径，因此从多个获取的第一轴上部形状测量数据获取该参考球的上部最大直径部分，以及从多个获取的第一轴下部形状测量数据获取该参考球的下部最大直径部分。

3.根据权利要求2的校准表面结构测量装置的方法，进一步包括：

获取第二轴形状测量数据，通过：

当该向下的触针与该参考球的上部最大直径部分接触时，在正交于该第一轴方向的第二轴方向上相对地移动该检测器和平台，以获取该参考球的第二轴上部形状测量数据；并且

当该向上的触针与该参考球的下部最大直径部分接触时，在该第二轴方向上相对地移动该检测器和平台，以获取第二轴下部形状测量数据，

其中所述计算该向上的触针和向下的触针偏移量的偏移量的计算基于该第一中心坐标、第二中心坐标、从该第二轴上部形状测量数据获取的第三中心坐标、以及从该第二轴下部形状测量数据获取的第四中心坐标。

4.根据权利要求3的校准表面结构测量装置的方法，进一步包括：

设定校正参数以获取用于校正包括在该第二轴上部形状测量数据和第二轴下部形状测量数据中的测量误差的校正参数，其中所述校正参数的设定同步地获取用于测量范围内的沿着该测量臂的摇摆方向分成的多个区域中的每个区域的校正参数。

5.根据权利要求4的校准表面结构测量装置的方法，其中该校正参数包括该测量臂的臂长、每个向下的触针和向上的触针的边长、以及增益系数。