[发明专利]铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜、制备方法及其应用

权利要求书

1.一种铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜，其特征在于，其化学式为MeLiBO₃:xCe³⁺，其中，MeLiBO₃是基质，铈元素是激活元素，0.005≤x≤0.05，Me为Mg、Ca、Sr或Ba。

2.根据权利要求1所述的铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜，其特征在于，所述铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜的厚度为80nm～500nm。

3.一种铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

根据MeLiBO₃:xCe³⁺各元素的化学计量比将MeO，Li₂O，B₂O₃和CeO₂粉体，经过混合后，在900℃～1300℃下烧结得到靶材；

将衬底装入脉冲激光沉积设备的反应室中，并将反应室的真空度设置为1.0×10^-3Pa～1.0×10^-5Pa；

调节基靶间距为45mm～95mm，衬底的温度为250℃～750℃，工作气体的流量为10sccm～35sccm，工作压强为0.2Pa～4Pa，脉冲激光能量为50W～500W，进行脉冲激光沉积得到化学式为MeLiBO₃:xCe³⁺的铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜，其中，MeLiBO₃是基质，铈元素是激活元素，0.005≤x≤0.05，Me为Mg、Ca、Sr或Ba。

4.根据权利要求3所述的铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，所述基靶间距为60mm，衬底的温度为500℃，工作气体的流量为25sccm，工作压强为2Pa，脉冲激光能量为300W。

5.根据权利要求3所述的铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，所述铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜的厚度为80nm～500nm。

6.一种薄膜电致发光器件，该薄膜电致发光器件包括依次层叠的衬底、阳极层、发光层以及阴极层，其特征在于，所述发光层的材料为铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜，该铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜的化学式为MeLiBO₃:xCe³⁺，其中MeLiBO₃是基质，铈元素是激活元素，0.005≤x≤0.05，Me为Mg、Ca、Sr或Ba。 

7.根据权利要求6所述的薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述发光层的厚度为80nm～500nm。

8.一种薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供具有阳极的衬底；

在所述阳极上形成发光层，所述发光层的薄膜为铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜，该铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜的化学式为MeLiBO₃:xCe³⁺，其中，MeLiBO₃是基质，铈元素是激活元素，0.005≤x≤0.05，Me为Mg、Ca、Sr或Ba；

在所述发光层上形成阴极。

9.根据权利要求8所述的薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述发光层的制备包括以下步骤：

根据MeLiBO₃:xCe³⁺各元素的化学计量比将MeO，Li₂O，B₂O₃和CeO₂粉体，经过混合后，在900℃～1300℃下烧结得到靶材；

将所述衬底装入化学气相沉积设备的反应室，并将反应室的真空度设置为1.0×10^-3Pa～1.0×10^-5Pa；

调节基靶间距为45mm～95mm，衬底的温度为250℃～750℃，工作气体的流量为10sccm～35sccm，工作压强为0.2Pa～4Pa，脉冲激光能量为50W～500W，进行脉冲激光沉积得到化学式为MeLiBO₃:xCe³⁺的铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜，其中MeLiBO₃是基质，铈元素是激活元素，0.005≤x≤0.05，Me为Mg、Ca、Sr或Ba。

10.根据权利要求9所述的铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，所述基靶间距为60mm，衬底的温度为500℃，工作气体的流量为25sccm，工作压强为2Pa，脉冲激光能量为300W。